6. 14. Устройство помещений цеха (участка), в которых размещается гальваническое оборудование, а также производство работ в этих помещениях должны отвечать требованиям «Правил техники безопасности и производственной санитарии при производстве металлопокрытий» (74) и ГОСТ 12.3.008-75 (75).
6.15. Полы таких помещений для того, чтобы не впитывать химические вещества, должны оборудоваться кислото- и щелочестойкими материалами и иметь уклон 0,006 в сторону стока жидкостей в сливные устройства.
6.16. Растворение щелочей в воде должно производиться небольшими порциями с непрерывным перемешиванием при температуре воды не более 90°С.
Концентрированные кислоты следует разбавлять водой, вливая кислоту в воду, осторожно, медленной струей, не допуская разбрызгивания.
Указанные работы следует производить под вытяжной вентиляцией.
6.17. Участки работ с химическими веществами должны иметь умывальники, оборудованные смесителями горячей и холодной воды. Помещения, где имеется опасность химических ожогов, должны быть оборудованы фонтанчиками для промывания пораженной кожи и глаз.
6.18. Переливание ГЖ, ЛВЖ, кислот, щелочей из бутылей и другой тары емкостью более 10 л, а также транспортирование должны быть механизированы.
6.19. Вскрытие металлической тары с каустиком, хромовым ангидридом и т.п. химическими веществами должно производиться с помощью неискрообразующего ножа (типа консервного) или механизировано на специально оборудованном рабочем месте с применением СИЗ.
6.20. Организация хранения, расфасовки, транспортировки ГЖ, ЛВЖ, реактивов и других химических веществ должна отвечать требованиям «Типовой инструкции по технике безопасности и производственной санитарии при складировании материальных ценностей» (76).
Хранить химические вещества в таре без пробок и обозначения содержимого (без маркировки) запрещается.
6.21. Бутыли с кислотами и щелочами должны находиться в исправных плетеных корзинах с прочными ручками или в деревянных обрешетках. Пространство между бутылью и обрешеткой или корзиной должно быть заполнено прокладочным материалом (древесной стружкой, опилками), пропитанным огнезащитными растворами (хлористого кальция, извести).
Фтористоводородная (плавиковая) кислота должна храниться в сосудах из фторопласта или другого материала, стойкого к воздействию плавиковой кислоты. В местах хранения кислот необходимо иметь известь, мел и соду для их нейтрализации в случае непредвиденного проливания, а также подвод и сток воды.
6.22. Отходы органических растворителей и других ГЖ и ЛВЖ должны собираться согласно ОСТ 4Г 0.054.096 (72) в специальные емкости, обеспечивающие взрыво- и пожаробезопасное хранение; слив таких отходов в канализацию недопустим. Они должны вывозиться с территории предприятия или систематически утилизироваться на предприятии.
6.28. Работы, связанные с приготовлением растворов СДЯВ, транспортировкой их к рабочему месту и корректировкой электролита, должны быть механизированы и выполняться в соответствии с требованиями «Инструкции по работе с сильнодействующими ядовитыми веществами (СДЯВ). на предприятиях и в организациях Министерства» (77).
6.24. Очистка оборудования от осадков и удаление растворов из ванн должны производиться в соответствии с требованиями «Инструкции по работе с сильнодействующими ядовитыми веществами (СДЯВ) на предприятиях и в организациях Министерства» (77) специально выделенными и проинструктированными рабочими с применением резиновых перчаток и других СИЗ при наличии наряда на выполнение работ особой опасности.
После окончания работы все инструменты и СИЗ, применявшиеся во время очистки, должны быть обезврежены и промыты.
6.25. Слив отработанных растворов солей, кислот и щелочей должен производиться в сборники для нейтрализация по специально предназначенным для этого каналам или трубопроводам. Слив отходов производства в общую канализацию без предварительной нейтрализации недопустим.
6.26. Работы, связанные с применением лакокрасочных материалов, должны производиться в помещениях, отвечающих требованиям ГОСТ 12.2.005-75 (59), «Правил и норм техники безопасности, пожарной безопасности и производственной санитарии для окрасочных цехов» (60) и в соответствии с требованиями настоящих Правил.
6.27. Переливание лакокрасочных материалов из одной тары в другую во избежание загрязнения пола и оборудования должно производиться на поддонах из цветных металлов с бортами высотой не менее 5 см.
6.28. Окраска изделий должна производиться при работающей приточно-вытяжной и местной вытяжной вентиляции, эксплуатация которой должна осуществляться в соответствии с «Инструкцией по эксплуатации, обслуживанию и ремонту, установок вентиляции и кондиционирования воздуха» (78).
6.29. При ручном пневматическом распылении лакокрасочного материала на поверхность изделия следует руководствоваться «Санитарными правилами при окрасочных работах с применением ручных распылителей) (79) .
6.30. Краскораспылители, технологическое оборудование, трубопроводы для распылителей и лакокрасочных материалов, вентиляционное оборудование и воздуховоды приточных и вытяжных вентиляционных систем для исключения образования электростатического заряда должны быть заземлены в соответствии с ГОСТ 12.1.018-79 (29).
6.31. Сушильные камеры должны быть оборудованы контрольно-измерительными приборами (средствами автоматического пожаротушения, терморегуляторами, газоанализаторами) в соответствии с «Правилами и нормами техники безопасности, пожарной безопасности и промышленной санитарии для окрасочных цехов» (60). Контрольно-измерительная аппаратура и приборы должны располагаться в местах, легко доступных для наблюдения.
6.32. Конструкция сушильных камер должна обеспечивать возможность механической загрузки и выгрузки изделий без захода работающих внутрь камер.
6.33. Сушильные камеры должны быть оборудованы вытяжной вентиляцией, исключающей возможность образования в камере взрывоопасных концентраций и препятствующей выходу в помещение загрязненного воздуха из сушильных камер.
Температура наружной поверхности стенок камеры не должна превышать. 45°С.
6.34. Окрасочное оборудование должно ежедневно после окончания смены очищаться от осевшего лака (краски) при работающей вытяжной вентиляции с помощью инструмента из цветного металла или другого материала, исключающего искрение.
6.85. Обтирочные концы, ветошь и другие материалы после их употребления должны складываться в специальные емкости и в конце смены удаляться ив цеха в места, отведенные для этой цели по согласованию с пожарной охраной.
7. ИЗГОТОВЛЕНИЕ МИКРОСХЕМ
7.1. Р абочие места изготовителей микросхем должны обеспечиваться общим и местным освещением. При этом целесообразно использовать люминесцентные лампы. В зоне работы с микроскопом при сборке и монтаже микросхем освещенность должна составлять не менее 8000 лк.
7.2. Все операции с мелкодисперсными порошками (взвешивание, смешивание, загрузка в барабаны, дробление, размол, просев и т. д.) необходимо производить в шкафах с эффективной системой вытяжной вентиляции, оборудованной специальными фильтрами для улавливания пыли.
7.3. Работы с кислотами и щелочами должны выполняться с учетом требований, изложенных в разделе 6 настоящих Правил.
7.4. В помещениях, где производится работа по получению и нанесению фоторезистов, кроме требований, предусмотренных СНиП П-2-80 (80), должны выполняться следующие условия:
Запрещается использование открытых нагревательных приборов и огня;
оборудование обеспечивается местными отсосами для улавливания выделяемых токсических веществ;
вентиляционные устройства должны быть выполнены во взрывобезопасном исполнении.
7.5. Выброс загрязненного воздуха из шкафов для хранения фоторезистов и оборудования, на котором применяются фоторезисты, должен осуществляться вентиляционными системами, не связанными с общей вентиляцией цеха или с отсосами от других источников выделения вредных производственных факторов.
7.6. Вакуумное оборудование при размещении на производственных площадях следует группировать участками по назначению с учетом вероятности наличия опасных и вредных производственных факторов.
7.7. При работах, связанных с возможным воздействием на работающих ультрафиолетового излучения, следует применять защитные очки.
7.8. Все работы по обезжириваниям и химической очистке испарителей и деталей внутрикамерных устройств, стеклянных колпаков и легкосъемной подколпачной оснастки, а также технологической электровакуумной установки следует проводить в вытяжном шкафу.
7.9. Очистку металлических колпаков и трудносъемной внутрикамерной оснастки электровакуумных напылительных установок следует производить с использованием местной вытяжной вентиляции и СИЗ (респираторов, очков).
7.10. При работе с высоковакуумными охлаждаемыми ловушками разрешается использовать только жидкий азот; использовать для этой цели жидкий кислород и воздух запрещается.
7.11. Устройство и эксплуатация газопроводов должны отвечать требованиям «Правил безопасности в газовом хозяйстве» (64).
7.12. При креплении элементов микросхем и герметизации микросхем с помощью эпоксидных компаундов необходимо соблюдать требования «Санитарных правил при работе с эпоксидными смолами» (69).
7.13. При герметизации микросхемы с помощью электроннолучевой или лазерной сварки необходимо соблюдать требования «Инструкции по устройству и эксплуатации электроннолучевых установок для плавления, сварки и других видов обработки металлов» (81) и «Санитарных правил при работе с лазерами» (42.)
8. НАСТРОЙКА И РЕГУЛИРОВКА РАДИОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ
6.1. К самостоятельной работе по настройке и регулировке узлов и блоков РЭА допускаются лица, имеющие квалификационную группу по технике безопасности не ниже III при работе с напряжением до 1000 В и не ниже IV - с напряжением свыше 1000 В.
В случае выполнения работ бригадой в составе не менее двух человек, возглавляемой инженерно-техническим работником или высококвалифицированным рабочим (регулировщиком радиоаппаратуры), последний должен иметь квалификационную группу не ниже IV. Члены бригады должны иметь квалификационную группу не ниже III.
Допускается выполнять настроечно-регулировочные работы одному лицу, если он имеет квалификационную группу по технике безопасности не ниже IV (при напряжении до 1000 В - не ниже III) я при условии обязательного присутствия вблизи его рабочего места второго лица с квалификационной группой не ниже III.
8.2. Толщина стен и покрытий помещений для регулировки РЭА должна определяться в каждом случае расчетным путем, исходя из наибольшей мощности излучаемой энергии электромагнитного поля и радиопоглощающих свойств строительных материалов согласно «Санитарным нормам и правилам при работе с источниками электромагнитных полей высоких, ультравысоких я сверхвысоких частот» (28).
8.3. Для уменьшения отражений радиоволн стены и потолок помещения необходимо покрывать разрешенными к применению в отрасли строительными материалами, обладающими малой отражательной способностью.
8.4. Используемые материалы должны быть взрывопожаробезопасными, не поддерживающими горения и не выделяющими вредных веществ.
8.5. В помещениях регулировки радиоэлектронной аппаратуры конструкция пола должна быть бесшовной и неэлектропроводной, влагостойкой и не обладающей свойствами сорбции.
8.6. Отделка помещений должна быть выполнена со гласно «Санитарным правилам организации процессов лайки мелких изделий сплавами, содержащими свинец» (67).
8.7. На участках комплексной настройки электронно-вычислительных машин необходимо предусматривать звукопоглощающие подшивные потолки из несгораемых материалов; для прокладки кабелей необходимо предусмотреть «фальшполы» из несгораемых материалов.
8.8. В помещениях с возможным образованием озона должна быть предусмотрена вентиляция, обеспечивающая снижение содержания его в воздушной среде до предельно допустимой концентрации, установленной ГОСТ 12.1.005-76 (17).
8.9. Экранированные помещения, в которых производится настройка и регулировка СВЧ-устройств, должны удовлетворять следующим требованиям:
размещение экранированных помещений должно предусматриваться в зданиях I и II степеней огнестойкости; при этом несущие конструкции экранированных помещений должны выполняться с пределом огнестойкости не менее 2,5 часа;
выгораживание экранированных помещений от других необходимо осуществлять несгораемыми стенами с пределом огнестойкости не менее 2,5 часа;
электропроводка внутри таких помещений должна выполняться в металлических трубах, не соприкасающихся с радиопоглощающими материалами;
установка светильников в закрытом исполнении;
при площади экранированного помещения более 100 кв. м необходимо предусмотреть не менее двух дверей, ведущих к эвакуационным выходам;
экранированные помещения должны оборудоваться автоматическими установками пожаротушения и пожарной сигнализацией;
стены, пол и потолок должны быть покрыты сплошными надежно сваренными металлическими листами или другими поглощающими материалами; в случае применения металлических листов стены экранированного помещения должны иметь неэлектропроводную обшивку на высоту, исключающую возможность касания регулировщика металлического экрана;
если настройка РЭА производится в присутствии регулировщика, то вся внутренняя поверхность помещения или та его часть, на которую падает излучаемая энергия, должна быть покрыта радиопоглощающими материалами:
двери должны иметь надежный электрический контакт с обшивкой помещения по всему периметру или снабжаться прокладками из радиопоглощающего материала;
при открывании двери должно обеспечиваться автоматическое выключение источников СВЧ-энергии; если по требованиям технологического процесса нельзя выключать РЭА, то следует предусмотреть двойные двери, оборудованные отдельными (автономными) блокировками; двери должны быть распашными и открываться наружу;
ширина дверей должна быть не менее 0,9 м, высота - не менее 2 м;
пол в камере поверх металлического покрытия должен быть деревянным или покрытым линолеумом по деревянному настилу; все деревянные элементы конструкций камеры должны быть антисептированы и подвергнуты глубокой огнезащитной пропитке;
отверстия и щели в обшивке помещения должны быть надежно экранированы;
помещение должно иметь эффективно работающую приточно-вытяжную вентиляцию с трехкратным обменом воздуха в час;
световые проемы, смотровые окна, вентиляционные жалюзи, измерительные приборы, крепящиеся на обшивке помещения, должны экранироваться по принципу предельного волновода, а при недостаточности этого - дополнительной металлической сеткой, обеспечивающей хороший электрический контакт с обшивкой помещения;
обшивка помещения должна быть надежно заземлена;
при невозможности снижения плотности потока энергии ЭМП внутри помещения ниже предельно допустимых величин осуществляющие регулировку РЭА лица должны находиться вне помещения; в этом случае необходимо предусмотреть систему дистанционного контроля и управления; для визуального наблюдения за РЭА смотровые окне должны быть выполнены из радиозащитного стекла (ТУ 21-54-41-79) или металлической сетки;
экранированные помещения должны оборудоваться пожарной сигнализацией, автоматическими установками пожаротушения и переговорным устройством для связи с персоналом, находящимся вне помещения.
8.10. Защита персонала, занятого на регулировке РЭА, являющейся источником рентгеновских лучей, должна быть обеспечена в соответствии с «Санитарными правилами работы с источниками мягких рентгеновских лучей» (82).
8.11. Регулировку узлов и блоков, настраиваемых отдельно от изделия, необходимо осуществлять только на оборудованных для этого рабочих местах.
8.12. На каждом рабочем месте разрешается одновременно регулировать только одно изделие.
8.13. Рабочий стол и стеллаж должны быть механически прочными и иметь регулируемые опоры с резиновыми подпятниками; металлический каркас должен иметь токопроводящую обшивку, ножки рабочего стола и стеллажа должны быть опрессованы резиной, колеса тележки должны иметь резиновые шины. Столешница, полки стеллажа и тележки должны быть выполнены из токонепроводящих материалов.
В случае регулировки блоков РЭА, непосредственно выполняемой на конвейере, технологический спутник (или приспособление), на котором устанавливается блок, должен иметь в своей конструкции токонепроводящий элемент, изолирующий его от конвейера.
8.14. Регулировки узлов и блоков РЭА с питающим их напряжением выше 42 В на спутниках конвейера запрещается.
8.15. Рабочие места регулировщиков РЭА должны находиться на расстоянии не ближе 1 м от приборов отопления.
8.16. Рабочее место должно быть укомплектовано необходимым удобным и безопасным рабочим инструментом с электроизолирующими или покрытыми электроизоляционными материалами рукоятками, средствами защиты работающих от электромагнитных излучений и от поражения электрическим током.
8.17. Защитные средства, служащие для защиты персонала от поражения электрическим током, должны удовлетворять требованиям «Правил пользования и испытания защитных средств, применяемых в электроустановках» (83).
8.18. Выбор средств защиты должен осуществляться согласно ГОСТ 12.4.011-76 (84) для каждого конкретного технологического процесса настроечно-регулировочных работ с учетом требований безопасности, изложенных в технологической документации.
8.19. Применение коллективных и индивидуальных средств защиты, на которые отсутствует утвержденная в установленном порядке техническая документация, запрещается.
8.20. Общие технические требования к заземлению, заземляющим устройствам РЭА, кроме аппаратуры сверхвысоких частот (СВЧ), а также конструкцию и размеры элементом заземления устанавливает ОСТ 4.209.004-78 (85).
8.21. Для обеспечения безопасности работающих от поражения электрическим током металлические корпуса каждого из контрольно-измерительных приборов, узлов, блоков РЭА и электропитания, размещенных на рабочем месте регулировщика, должны быть присоединены к заземлителю или к заземляющей магистрали.
8.22. В случае, когда заземление вносит искажение в точность измерений (наводки и т. п.), допускается не заземлять измерительную аппаратуру при условии ее временного ограждения с использованием предостерегающих плакатов и применения регулировщиками индивидуальных средств защиты.
8.23. Не требуется отдельного заземления в случае подключения контрольно-измерительной аппаратуры (КИА) к электросети с помощью гибкого провода с отдельной заземляющей (зануляющей) жилой в общей оболочке и штепсельной вилкой с заземляющим контактом.
8.24. Последовательное включение в заземляющий проводник нескольких заземляемых приборов и блоков не допускается.
8.25. Конструкция заземляющего устройства выдвижных, откидных или съемных узлов, блоков РЭА должна обеспечивать надежное электрическое соединение с каркасами или кожухами, в которых установлены эти блоки.
8.26. Жилы проводов и кабелей, используемые в качестве заземляющего проводника для переносных контрольно-измерительных приборов; должны быть гибкими, медными, сечением не менее 1,5 кв. мм.
8.27. Для подключения к электросети приборов и аппаратуры на рабочем столе, конвейере или стенде должен быть смонтирован в удобном и безопасном для работы месте электрощиток, отвечающий требованиям «Привил устройства электроустановок» (30) и имеющий общий выключатель, предохранители или автоматические выключатели, сигнальные лампы или вольтметры, утопленные штепсельные гнезда и шину защитного заземления (зануления).
8.28. Переносные устройства электропитания (колодки и т. д.) должны изготовляться по техническим условиям на конкретные электротехнические изделия, утверждаемым предприятием-изготовителем, и отвечать требованиям ГОСТ 12.2.007.0-75 (86).
8.29. Порядок и методы выполнения работ по настройке и регулировке РЭА определяются технологической или конструкторской документацией, выдаваемой регулировщику, при этом следует строго соблюдать требования безопасности, изложенные в ней.
8.30. Правила составления инструкций по настройке изделий и их составных частей предусмотрены конструкторской документацией согласно ОСТ 4Г 0.000.040 (88).
8.31. Подготовка рабочего места, а также выполнение организационно-технических мероприятий, обеспечивающих безопасность труда в процессе настройки и регулировки узлов и блоков РЭА и изложенных в технологической (конструкторской) документации, возлагается на лицо, допущенное к этим работам.
Контроль за соблюдением работающими требований безопасности осуществляется административным персоналом, руководящим этими работами .
8.32. Для измерения параметров электрической схемы и режимов работы электронных и полупроводниковых приборов с помощью контрольно-измерительной аппаратуры допускается извлекать отдельные узлы, блоки РЭА из стоек, шкафов и т. д. открывать двери, снимать кожухи в местах подключение измерительной аппаратуры, закорачивать блокировку, при этом должны выполняться следующие требования:
все подготовительные работы, в том числе и подсоединение измерительных приборов к точкам замера, должны производиться после полного отключения всех напряжений, подаваемых на регулируемые узлы и блоки РЭА, а также после снятия остаточных зарядов с помощью ручного заземленного разрядника;
места расположения и подключения измерительной аппаратуры в электрические цепи с напряжением выше 1000 В следует отделять временными ограждениями с установленными на них знаками безопасности по ГОСТ 12.4.026-76 (15), оставив лишь доступ к элементам схемы. Сведения о работе с указанными ограждениями и их расположении на рабочем месте должны быть отражены в технологической документации по регулировке и настройке узлов и блоков РЭА;
в случаях, вызванных производственной необходимостью, допускается проводить измерения напряжения до 1000 В на включенной РЭА путем касания высоковольтным щупом или делителем напряжения, входящими в комплект измерительного прибора, точки, потенциал которой нужно установить; при таких измерениях должна быть приняты меры безопасности, предусмотренные инструкцией по эксплуатации измерительного прибора.