НПАОП 32.1-1.01-72 Правила техники безопасности и производственной санитарии в электронной промышленности

И-2-13. Установки ВЧ и УВЧ могут размещаться как в отдельных, так и в общих производственных помещениях в технологическом потоке и на автоматических линиях. В последнем случае обязательным условием является обеспечение на рабочих местах предельно допустимых уровней облучения и исключение облучения лиц, не обслуживающих данные установки.

При размещении нескольких установок в одном помещении должны быть приняты меры, исключающие превышение предельно допустимых уровней облучения за счет суммирования полей излучения.

И-2-14. Источниками электромагнитных полей на участках, где работает технологическое оборудование с применением высокой и ультравысокой частоты, являются:

в установках индукционного нагрева высокочастотные индукторы, высокочастотные трансформаторы и конденсаторы, контурные конденсаторы, фидерные линии, переключающие устройства фидерных линий;

в установках диэлектрического нагрева рабочие конденсаторы, фидерные линии и переключающие устройства фидерных линий.

Источниками ВЧ и УВЧ энергии в этих установках служат преимущественно ламповые генераторы. Неэкранированные высокочастотные выводы, вентиляционные и другие отверстия и выходящие за пределы генераторов неэкранированные шланги водяного охлаждения также являются источниками распространения ВЧ и УВЧ полей.

И-2-15. Степень облучения работающих зависит от типа (частоты) генератора, мощности установки и качества экранирования ВЧ и УВЧ элементов, а также от расположения рабочего места относительно источника излучения.

И-2-16. Интенсивность электромагнитных полей ВЧ и УВЧ оценивается напряженностью составляющих электромагнитного поля и выражается в вольтах на метр (В/м) для электрической составляющей и в амперах на метр (А/м) — для магнитной составляющей

Интенсивность электромагнитных полей на рабочих местах не должна превышать:

По электрической составляющей

в диапазоне частот 100 кГц — 30 МГц *

20 В/м

в диапазоне частот 30 — 300 МГц . . .

5 В/м

По магнитной составляющей в диапазоне частот 100 кГц— 1,5 МГц

5 А/м

И-2-17. Измерения интенсивности электромагнитных полей на рабочих местах, в зоне обслуживания ВЧ и УВЧ установок должны производиться:

а) при вводе в действие новых установок;

б) периодически, не реже 1 раза в 6 мес., при эксплуатации установок;

в) при реконструкции действующих установок, а также после ремонтных работ;

г) при каждом изменении условий труда во время проведения опытных и исследовательских работ.

Измерения должны производиться при максимально используемой в технологических процессах мощности установки.

* Диапазон радиочастот 60—100 кГц впредь до уточнения гигиенических нормативов приравнивается к диапазону частот 100 кГц —30 МГц.

И-2-18. Измерения напряженности электромагнитных полей должны производиться специалистами, прошедшими обучение и назначенными администрацией предприятия.

Обеспечение работы оборудования в режимах, соответствующих максимально используемым в технологических процессах, возлагается на руководителей подразделений.

И-2-19. Измерения напряженности ВЧ и УВЧ полей рекомендуется производить приборами ИЭМП-1* в соответствии с инструкцией по эксплуатации прибора и с методикой, приведенной в Санитарных нормах и правилах № 848-70.

Результаты измерений должны вноситься в «Журнал измерения электромагнитных и ионизирующих излучений» (приложение 17) и доводиться до сведения администрации, службы техники безопасности и профсоюза.

На вновь вводимые в эксплуатацию и реконструированные установки, кроме того, составляется протокол (приложение 18).

Контроль за выполнением указанных в п. И-2-17 измерений производится администрацией подразделения предприятия (цеха, отдела и т. п.), службой техники безопасности предприятия и районными (городскими) санэпидстанциями.

И-2-20. На рабочих местах, где измеренная интенсивность излучения превышает допустимые величины (п. И-2-16), должны быть проведены мероприятия по экранированию элементов установок, являющихся источниками излучения, или по полному экранированию всей установки (приложение 19).

И-2-21. Не разрешается экранировать помещения, в которых располагаются установки ВЧ для термообработки, так как экранировка значительно ухудшает условия труда работающих и может проводиться лишь в особых случаях по согласованию с органами санитарного надзора.

И-2-22. При термической обработке изделий и материалов на воздухе у технологических элементов установок (закалочный индуктор, плавильная печь, рабочий конденсатор) должна быть оборудована местная вы-

* При измерении в диапазоне частот 60—100 кГц требуется дополнительная градуировка каждого прибора.

тяжная вентиляция. Скорость движения воздуха во входных отверстиях воздухоприемников должна исключать возможность попадания вредных паров и газов в зону дыхания работающих на установке.

Для исключения нагрева высокочастотным полем воз-духоприемники следует выполнять из немагнитного материала.

И-2-23. При термической обработке изделий и материалов в вакууме (отжиг, сварка, плавка и т. п.) следует руководствоваться разд. Д настоящих Правил. Выхлоп форвакуумных насосов должен производиться за пределы производственного помещения. На выходе в атмосферу должны устанавливаться фильтры для очистки удаляемых газов от вредных примесей.

И-2-24. Установки индукционного и диэлектрического нагрева в контролируемой газовой среде (водород, смесь водорода с азотом и др.) должны удовлетворять требованиям гл. И-6 настоящих Правил. Применение стеклянных корпусов рабочих объемов оборудования при термообработке изделий в среде водорода или других горючих газов запрещается.

И-2-25. Водяное охлаждение установок ВЧ и УВЧ должно выполняться в соответствии с требованиями действующих «Правил устройства электроустановок».

В случае когда прекращение потока или перегрева охлаждающей воды может привести к аварии, должно быть обеспечено аварийное отключение установки.

И-2-26. Аварийное отключение генераторов ВЧ и УВЧ должно обеспечиваться также при повышении давления в рабочей камере технологической части установки выше допустимого предела.

И-2-27. Плавильные камеры должны быть оборудованы предохранительными клапанами. Предохранительный клапан должен располагаться так, чтобы при его срабатывании не мог пострадать обслуживающий персонал. При резком повышении давления в плавильной камере плавку следует прекратить, не дожидаясь срабатывания предохранительного клапана.

И-2-28. При проведении плавок в открытом тигле допускается касание шихты инструментом с изолированными ручками. Не допускается добавление влажной шихты в расплавленный металл. Разлив металла из тигля производится только после снятия напряжения с индуктора. Чтобы избежать ожогов и поражения глаз лучистой энер-

гией, оператор должен работать в рукавицах и защитных очках. Во избежание ожогов током высокой частоты запрещается касаться руками или металлическим инструментом токоведущих частей (индукторов, шин и т. п.).

И-2-29. Технологическая часть установок, выполненная отдельно от генераторов ВЧ и УВЧ, должна оборудоваться сигнализацией (две неоновые лампы), действующей при подаче высокочастотной энергии.

Если от одного генератора высокочастотная энергия подведена к нескольким технологическим установкам (откачные посты, посты вакуумного отжига и т. п.), то такие установки кроме сигнализации должны быть обеспечены устройствами, исключающими ошибочные действия персонала и поражение током (блокировка, применение одного переносного включающего устройства и т. п.).

УСТАНОВКИ СВЕРХВЫСОКИХ ЧАСТОТ

И-2-30. Действующие установки, включающие в себя электронные приборы и устройства СВЧ, являются источниками электромагнитных волн, излучаемых в окружающее пространство.

При разработке, производстве и эксплуатации электронных приборов СВЧ и элементов СВЧ техники излучение электромагнитных волн возможно от:

катодных узлов приборов магнетронного типа;

изолирующих частей корпуса и коллектора многорезо-наторных клистронов;

стеклянных и керамических корпусов клистронов, ЛБВ, ЛОВ, СВЧ триодов и других приборов СВЧ;

неплотных соединений высокочастотных трактов, щелей и отверстий в волноводах, измерительных линий, ослабителей, ответвителей, фазовращателей, циркулято-ров, поглотителей СВЧ мощности (эквивалентов антенн) и т. п.;

неэкранированных шлангов охлаждения поглотителей СВЧ мощности;

отверстий и неплотностей в обшивках генераторов и отдельных блоков установок, содержащих внутри неэкранированные приборы и элементы ВЧ трактов;

антенн установок, работающих по принципу излучение — прием.

При работе с установками СВЧ, в которых применяются электровакуумные приборы с анодным напряжением выше 10 кВ, возможно облучение персонала рентгеновским излучением (гл. И-3 настоящих Правил).

И-2-31. Установки СВЧ должны размещаться, как правило, в специально для них предназначенных производственных помещениях с капитальными стенами и перекрытиями.

В отдельных случаях разрешается размещать в общих помещениях маломощные измерительные установки СВЧ при условии работы их на поглотитель.

При размещении нескольких установок СВЧ в одном помещении должны быть приняты меры, исключающие направленное излучение на рабочие места данной и смежных установок и превышение предельно допустимой плотности потока мощности (п. И-2-33) за счет суммирования энергии, излучаемой несколькими установками.

И-2-32. Степень облучения работающих с установками СВЧ зависит от:

мощности установки;

способа передачи СВЧ энергии и вида нагрузки (поглотитель, антенна);

качества экранирования электронных приборов, отдельных блоков или всей установки в целом;

качества выполнения и плотности соединения всех элементов ВЧ трактов.

И-2-33. Интенсивность облучения в диапазоне СВЧ оценивается величиной плотности потока мощности и выражается в микроваттах, милливаттах и ваттах на квадратный сантиметр (мкВт/см2, мВт/см2, Вт/см2).

Плотность потока мощности на рабочих местах не должна превышать:

при облучении в течение всего рабочего дня — 10 мкВт/см2;

при облучении не более 2 ч. за рабочий день — 100 мкВт/см2;

при облучении не более 15—20 мин. за рабочий день — 1 000 мкВт/см2 (1 мВт/см2).

В остальное рабочее время интенсивность облучения не должна превышать 10 мкВт/см2. При интенсивности облучения более 100 мкВт/см2 обязательным условием является применение радиозащитных очков и спецодежды из радиозащитной ткани.

Для лиц, не связанных профессионально с облучением СВЧ энергией и для населения интенсивность облуче-ния не должна превышать 1 мкВт/см2.

И-2-34. В помещениях с источниками СВЧ энергии измерения излучений на рабочих местах и в зонах обслуживания установок должны производиться от всех возможных источников излучения (см. п И-2-30) в следующих случаях:

а) при вводе в действие новых установок;

б) периодически, не реже 1 раза в 6 мес., при эксплуатации установок;

в) при реконструкции действующих установок и после проведения ремонтных работ;

г) при каждом изменении условий труда во время проведения опытных и исследовательских работ (изменение средней мощности, рабочей частоты, конструкции электронного СВЧ прибора или его узлов, изменение схемы передачи СВЧ энергии и т. п.).

Измерения должны производиться при максимальной излучаемой мощности.

Примечание. Периодические измерения могут не производиться, если номинальная средняя мощность источника СВЧ энергии не превышает 10 мВт и при условии, что этот источник не работает на антенну.

И-2-35. Измерения СВЧ излучений должны производиться специалистами, прошедшими обучение и назначенными администрацией предприятия. При этом обеспечение работы установок в режимах, соответствующих максимально излучаемой мощности, возлагается на начальников подразделений, лабораторий и участков, в которых разрабатываются или эксплуатируются установки.

И-2-36. Измерение интенсивности СВЧ излучений рекомендуется производить измерителем плотности потока мощности типа ПО-1 в соответствии с инструкцией по эксплуатации прибора и методикой, приведенной в Санитарных нормах и правилах № 848-70.

Допускается использование других измерительных приборов, прошедших государственную поверку, обладающих достаточной чувствительностью в измеряемом диапазоне частот и имеющих погрешность не более ±30%.

Результаты измерений нужно вносить в «Журнал измерения электромагнитных и ионизирующих излучений» (прилож. 17) и доводиться до сведения администрации, службы техники безопасности и комитета профсоюза.

По результатам измерений излучений от вновь вводимых в эксплуатацию и реконструированных установок, кроме того, должен составляться протокол (приложение 18).

Контроль за выполнением указанных в п. И-2-34 измерений производится администрацией подразделения предприятия (цеха, отдела и т. п.), службой техники безопасности предприятия, районными (городскими) сан-эпидстанциями.

И-2-37. На рабочих местах, где измеренная интенсивность СВЧ излучения превышает предельно допустимые нормы (п. И-2-33), работы должны быть прекращены до проведения необходимых мероприятий по экранированию.

Администрация обязана обеспечить разработку и применение экранирующих устройств, и, в необходимых случаях, применение средств индивидуальной защиты, при которых облучение персонала не превышало бы предельно допустимые нормы (п. И-2-33).

При разработке и выборе мер защиты следует руководствоваться указаниями, приведенными в приложении 20 к данному разделу Правил.

И-2-38. В отдельных случаях при отработке источников СВЧ энергии допускается устройство экранированных помещений (комнат), в которых при работе установок СВЧ может находиться обслуживающий персонал. При этом необходимо принимать меры, исключающие облучение персонала с интенсивностью выше предельно допустимых норм (10 мкВт/см2) за счет отражения энергии от стен и перекрытий.

Если это условие не соблюдается, то пульты управления установками должны быть вынесены за пределы экранированного помещения Двери экранированного помещения должны быть плотно закрыты и снабжены блокировкой, отключающей источники СВЧ энергии при открывании двери.

И-2-39. При экранировании установок СВЧ необходимо предусматривать меры, исключающие облучение персонала, находящегося в смежных помещениях.

И-2-40. При работе с установками, в которых используются электровакуумные приборы с рабочим напряжением выше 10 кВ, должны применяться меры защиты от воздействия рентгеновского излучения в соответствии с гл. И-3 настоящих Правил.

И-2-41. При использовании для передачи энергии вол-новодных трактов, находящихся под давлением, следует руководствоваться действующими «Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».

ГЛАВА И-3. ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТАХ С ИСТОЧНИКАМИ РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

И-3-1. Требования настоящей главы Правил распространяются на работы с источниками рентгеновского излучения и являются обязательными для предприятий, проектирующих (разрабатывающих), изготавливающих электровакуумные приборы или установки, в которых происходит ускорение электронов до энергий более 5кэВ.

И-3-2. Требования настоящей главы Правил не распространяются на рентгеновские установки медицинского назначения и телевизионные приемники.

И-3-3. Источники рентгеновского излучения по назначению разделяются на две группы:

I группа — источники используемого рентгеновского излучения;

II группа — источники неиспользуемого рентгеновского излучения.

И-3-4. К источникам рентгеновского излучения

I группы относятся:

а) установки рентгеноструктурного и рентгеноспект-рального анализов;

б) рентгеновские установки для химических или биологических экспериментов;

в) установки для рентгенодефектоскопии;

г) рентгеновские толщиномеры и уровнемеры;

е) рентгено-телевизионные установки.

И-3-5. К источникам рентгеновского излучения

II группы относятся:

а) высоковольтные электровакуумные приборы с номинальным анодным напряжением 10 кВ и более. Радиационные характеристики некоторых типов электровакуумных приборов приведены в приложении 21;

б) электронные микроскопы;

в) катоднолучевые осциллографы;

г) электроннолучевые установки для плавления, сварки и других видов электронной обработки металлов.

И-3-6. При размещении установок, содержащих источники ионизирующих излучений, следует руководствоваться действующими санитарными правилами и разд. К настоящих Правил.

И-3-7. При работах с источниками длинноволнового рентгеновского излучения (с энергией до 50 кэВ) необходимо руководствоваться санитарными правилами, приведенными в приложении 22.

И-3-8. При работах с источниками коротковолнового рентгеновского излучения (с энергией более 50 кэВ) следует руководствоваться действующими «Санитарными правилами работы с радиоактивными веществами и источниками ионизирующих излучений».

И-3-9. При определении категории облучаемых лиц, группы критических органов и предельно допустимых доз облучения следует руководствоваться «Нормами радиационной безопасности НРБ-69».

И-3-10. При измерении дозы и мощности дозы рентгеновского излучения следует руководствоваться НРБ-69, действующими санитарными правилами, отраслевым стандартом «Методы измерения длинноволнового рентгеновского излучения» и указаниями заводов — изготовителей дозиметров (рентгенометров).

И-3-11. При разработке мер защиты от нерадиационных факторов, влияющих на условия труда при работах с источниками ионизирующих излучений (электромагнитные поля ВЧ, УВЧ, СВЧ, излучение ОКГ, опасность поражения электрическим током и т. д.), следует руководствоваться другими главами и разделами этих Правил.

ГЛАВА И-4. ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ

И ПРОИЗВОДСТВЕННОЙ САНИТАРИИ ПРИ РАБОТЕ С ОПТИЧЕСКИМИ КВАНТОВЫМИ ГЕНЕРАТОРАМИ 1

ОБЩАЯ ЧАСТЬ

И-4-1. Настоящая глава Правил устанавливает меры безопасности при производстве и эксплуатации оптических квантовых генераторов (ОКГ), а также устройств и оборудования, содержащего ОКГ2. Классификация ОКГ приводится в приложении 23.

1 Согласована с Главным санитарно-эпидемиологическим управлением Министерства здравоохранения. Письмо № 122-14/1062-1 от 31 мая 1972 г.

2 Далее в тексте оптические квантовые генераторы, устройства и оборудование, содержащие ОКГ, будут называться ОКГ.

Предписания настоящей главы являются обязательными для всех предприятий и организаций ' Министерства электронной промышленности, разрабатывающих, производящих и использующих ОКГ.

И-4-2. Оборудование, содержащее в своем составе ОКГ, представляет собой разновидность радиоэлектронного оборудования, в связи с чем на работы с установками, содержащими ОКГ, распространяется действие «Правил технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правил техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» (ПТЭ и ПТБ), а также раздела К настоящих Правил.

И-4-3. Ответственность за обеспечение выполнения настоящей главы Правил на предприятии и контроль за соблюдением их в подразделениях предприятия возлагаются на главного инженера, а также на главного энергетика предприятия (в отношении электробезопасности) и главного технолога предприятия (в отношении технологических операций).

И-4-4. Надзор за выполнением на предприятиях требований настоящей главы осуществляется:

отделом (бюро), инженером по технике безопасности предприятия;

службой главного энергетика предприятия;

вышестоящими организациями;

технической инспекцией профсоюза,

санитарно-эпидемиологическими станциями.

И-4-5. При производстве и эксплуатации ОКГ должны приниматься меры по защите персонала от следующих факторов опасности и вредности:

когерентный свет ОКГ;

свет импульсных ламп накачки и ультрафиолетовое излучение газового разряда;

электрическое напряжение;

рентгеновское излучение;

электромагнитное поле ВЧ или УВЧ;

шум;

загрязнение окружающего воздуха вредными веществами;

нейтронное излучение.

Характеристика указанных факторов опасности и вредности приводится в приложении 24.

1 Далее в тексте предприятия и организации будут именоваться предприятиями

И-4-6. Для персонала, занятого производством и эксплуатацией ОКГ, должны разрабатываться инструкции по технике безопасности и производственной санитарии

В инструкциях по технике безопасности и производственной санитарии, в эксплуатационных и технологических инструкциях должны быть указаны конкретные меры безопасности с учетом особенностей технологии, выполняемой работы и используемого оборудования. Требования инструкций не должны противоречить настоящим Правилам.

При разработке инструкций рекомендуется руководствоваться указаниями, данными в приложении 25.

РАЗМЕЩЕНИЕ ОКГ И ВВОД ИХ В ЭКСПЛУАТАЦИЮ

И-4-7. ОКГ должны размещаться.

а) для вновь строящихся предприятий — по проектам, согласованным в установленном порядке;

б) для действующих предприятий — в соответствии с планировками, согласованными с главным энергетиком, главным механиком, инженером по технике безопасности и утвержденными главным инженером предприятия.

В проектах и планировках должны быть указаны в масштабе габариты оборудования (с учетом открытых дверей) и предусмотрены места для размещения средств защиты, съемных принадлежностей к установке и переносной измерительной аппаратуры, зона распространения луча ОКГ за пределы установки, дополнительная площадь для размещения объектов исследования и необходимых принадлежностей, если на установке предполагается проведение экспериментальных работ, рабочие места для работников, осуществляющих управление оборудованием, рабочие проходы для технического обслуживания и наладки оборудования.

Завантажити