в) полировку пластин на блоках окисью хрома, двуокисью циркония и другими материалами.
В процессе полировки применяется этиловый спирт для лучшей чистоты обработки и охлаждения пластин.
После полировки пластины снимаются с наклеечных блоков путем разогревания на паровых банях. Далее пластины отмываются в органических растворителях и минеральных кислотах.
Е-27-2. При работе на станках должны соблюдаться меры электробезопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-27-3. Станки резки, шлифовки, полировки должны эксплуатироваться в соответствии с «Правилами техники безопасности и производственной санитарии при холодной обработке металлов», «Правилами и нормами безопасной работы с алмазным инструментом» (ГОСТ 16182-70).
Е-27-4. Во всех возможных случаях должно применяться мокрое шлифование и полирование.
При сухой шлифовке и полировке станки необходимо оборудовать защитными кожухами, пылеуловителями и
местными отсосами, соединенными с вытяжной вентиляцией.
Е-27-5. Станки резки полупроводниковых материалов необходимо оборудовать съемными кожухами с окнами из оргстекла для ограждения режущего инструмента.
Е-27-6. Установка алмазного инструмента на станки и его правка разрешается лицам, прошедшим обучение.
Е-27-7. Станки с алмазным инструментом должны быть оборудованы приспособлениями для безопасной правки.
Е-27-8. Режущий инструмент должен быть плоским и целым, края планшайб, на которых производится шлифовка полупроводниковых материалов, не должны иметь острых кромок и выколов.
Е-27-9. При работе на ультразвуковых установках необходимо руководствоваться «Гигиеническими требованиями к устройству и эксплуатации ультразвуковых установок» и разд. И настоящих Правил.
Е-27-10. Варку наклеечных мастик и приклейку полупроводниковых материалов необходимо производить в вытяжных шкафах.
Е-27-11. При работе с легковоспламеняющимися жидкостями необходимо соблюдать меры предосторожности, изложенные в гл. Г-7, а при работе с кислотами — в гл. Г-3 настоящих Правил.
Е-27-12. Резку, шлифовку и полировку пластин из фосфида и арселида галлия и др. (типов A111 Bv и А II В VI ) необходимо производить в боксе.
Станки должны быть оборудованы местной вытяжной вентиляцией.
Е-27-13. Соединения типов Аш Bv и A"BVI при комнатной температуре на воздухе устойчивы и неопасны, однако при нагревании свыше 400 °С могут разлагаться с выделением токсичных газообразных веществ, поэтому необходимо эмульсию на режущий инструмент подавать непрерывно, не допуская перегрева слитков. Процесс резания наблюдать через опущенное защитное стекло.
ГЛАВА Е-28. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ НА УЧАСТКАХ СБОРКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
Е-28-1. К сборочным процессам относятся: а) посадка кристалла на кристаллодержатель или основание путем приклейки либо припайки стеклом;
б) присоединение выводов термокомпрессионным методом;
в) защита кристаллов лаками и компаундами на основе эпоксидной смолы;
г) герметизация приборов с применением свинцово-оловянистых припоев и пресс-композиций на основе эпо-ксидных смол;
д) лужение выводов припоями, содержащими свинец;
е) обрубка рамки и загибка выводов на прессах.
Е-28-2. При организации работ на участках сборки выполнять требования, изложенные в разд. Д настоящих Правил.
Е-28-3. При работе на электрооборудовании необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей», «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» и разд. К настоящих Правил.
Е-28-4. При работе с эпоксидными смолами необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в гл. Г-19 настоящих Правил.
Е-28-5. Нагревательная колонка (столик) должна быть оборудована кожухом из теплоизоляционного материала во избежание ожогов.
Е-28-6. Установку и ориентировку основания на нагревательном столике производить пинцетом.
Е-28-7. Нанесение клея (на основе фенолформальде-гидной смолы) на ситалловую подложку и основание корпуса производить в укрытии с местной вытяжкой.
Е-28-8. При герметизации приборов и лужении выводов свинцово-оловянистыми припоями необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в «Санитарных правилах по устройству, оборудованию и содержанию участков, на которых производится пайка мелких изделий сплавами, содержащими свинец» (приложение 16).
Е-28-9. При герметизации микросхем в пресс-формах, нагретых до температуры 140 °С, стол предварительного прогрева пресс-форм и стол пресса необходимо оборудовать местным вытяжным устройством для удаления продуктов разложения пресс-композиции на основе эпоксидной смолы.
Работу производить в хлопчатобумажных перчатках.
Е-28-10. Оборудование, используемое для изготовле ния пресс-композиции на основе эпоксиднои смолы, кварца, метафенилендиамина, должно быть оборудовано местной вытяжной вентиляцией.
Е-28-11. Работу на прессах производить в соответствии с «Правилами техники безопасности и произведет венной санитарии в кузнечно-прессовом производстве».
Штампы на прессах для обрезки рамок и гибки выводов необходимо закрывать защитным ограждением из металлической сетки.
Е-28-12. При работе с легковоспламеняющимися жидкостями соблюдать меры предосторожности, изложенные в гл. Г-7 настоящих Правил.
Е-28-13. Для предупреждения возникновения конъюк-тивитов насадки на микроскопы должны быть индивидуальные для каждого работающего.
Е-28-14. Работы, вызывающие повышенную напряженность зрения с применением оптических средств со световыми вспышками и др. факторами, должны прово диться по такому режиму, чтобы обеспечивалась возможность чередования напряженных работ менее напряженными, или предусматривать через каждый час работы 10-минутные паузы с гигиеническими упражнениями, преимущественно для органов зрения.
Е-28-15. На операциях проверки параметров полупроводниковых приборов и контроля ОТК должен осуществляться отвод статического электричества.
ГЛАВА Е-29. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ МИКРОМОДУЛЕЙ
Е-29-1. Организацию и проведение работ с химическими веществами на химических и технохимических участках, в химических лабораториях необходимо осуществлять в соответствии с требованиями, изложенными в разделах Г и А настоящих Правил.
Е-29-2. Организация и проведение работ на электроустановках должны осуществляться в соответствии с «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» (ПТЭ), «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» и разд. К настоящих Правил.
Е-29-3. Все работы на гальванических участках, в цехах и лабораториях должны проводиться в соответствии
с «Правилами техники безопасности и производственной санитарии при производстве металлопокрытий».
Е-29-4. При работе с четыреххлористым кремнием необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в гл. Е-25 настоящего раздела.
Е-29-5. При работе с перекисью бензоила необходимо знать:
сухая перекись бензоила разлагается со взрывом при трении, ударе, нагревании, обладает инициирующей способностью, поэтому ее необходимо увлажнять. Содержание воды должно быть не менее 10%;
не нагревать перекись бензоила до 100—110°С, так как может произойти взрыв в результате самоускоряющегося процесса распада под действием тепла;
разлитую жидкую перекись бензоила поглощать песком (тряпки и тому подобные материалы не применять);
уничтожать жидкую перекись бензоила методом разложения четырехкратным избытком 10%-ной щелочи;
все работы с перекисью бензоила проводить в вытяжном шкафу;
не допускать объединения в вытяжных воздуховодах систем вентиляции при местной вытяжке с веществами групп, указанных в приложении 12.
Е-29-6. На участках корректировки паст:
взвешивание и смешивание различных порошков со связующими веществами производить при наличии местной вытяжной вентиляции;
во избежание попадания рук между валками пасту с валков на пастотерках снимать специальным шпателем.
Е-29-7. Электропечи для вжигания пасты должны быть оборудованы местными вытяжными устройствами от мест выделения вредных веществ (места загрузки и выгрузки).
Е-29-8. Печи должны иметь тепловую изоляцию стенок корпуса, при этом температура поверхности теплоизоляции не должна превышать 40 °С.
Е-29-9. Перед выгрузкой из печи изделия должны охлаждаться до температуры не выше 40 °С.
Е-29-10. Слив воды из системы охлаждения печи должен быть видимым (водосливные воронки), а температура отходящей воды не должна превышать 50 °С. Площадь сечения отводящей воду трубы должна быть на 50% больше суммарной площади сечения питательных труб.
Е-29-11, При подгонке резисторов на лазерных установках необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в разд. И настоящих Правил.
Е-29-12. При обслуживании вакуумных установок необходимо выполнять требования, изложенные в разд. Д настоящих Правил.
Е-29-13. При обслуживании ультразвуковых установок необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в главе И-5 настоящих Правил.
Е-29-14. При проведении работ на участке фотолитографии необходимо выполнять меры предосторожности; изложенные в гл. Е-17 настоящего раздела.
Е-29-15. При резке полупроводниковых пластин на кристаллы, шлифовке и полировке необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в гл. Е-27 настоящего раздела.
Е-29-16. Работа с диэтиленгликольуретаном должна проводиться в условиях, исключающих попадание его паров (или аэрозолей) в воздух производственных помещений и на кожу работающих.
РАЗДЕЛ Ж ПРОИЗВОДСТВО РЕЗИСТОРОВ
ГЛАВА Ж-1. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ
Ж-1-1. Требования настоящего раздела Правил распространяются на производство проволочных, микромодульных, пленочных углеродистых, бороуглеродистых, металлопленочных, металлоокисных, пленочных композиционных и объемных резисторов, термисторов и фоторезисторов.
Ж-1-2. При организации и выполнении технологических процессов и операций производства резисторов следует руководствоваться действующими общесоюзными строительными, санитарными и противопожарными нормами и правилами, настоящими Правилами, а также правилами других отраслей промышленности, действие которых распространено на электронную промышленность (приложение 1).
Ж-1-3. При решении общих вопросов организации производства (требования к территории, планировке, производственным и бытовым помещениям, отоплению, вентиляции, водоснабжению, канализации, освещению, складированию и перемещению грузов, ремонту технологического оборудования и т. п.) следует руководствоваться «Санитарными нормами проектирования промышленных предприятий СН 245-71», соответствующими СНиП (приложение 1), «Общими правилами по технике безопасности и производственной санитарии для предприятий и организации радио- и электронной промышленности» и разделами А и Б настоящих Правил.
Ж-1-4. При монтаже и эксплуатации электрооборудования, радиоэлектронного оборудования и специального технологического оборудования (ультразвукового, высо-
кочастотного, с контролируемыми газовыми средами и пр.) следует руководствоваться действующими «Правилами устройства электроустановок» (ПУЭ), «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» (ПТЭ), «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» (ПТБ), разделами И и К настоящих Правил и дополнительными указаниями данного раздела Правил.
Ж-1-5. Организация работ на технохимических участках и выполнение операций с химическими веществами (кислотами, щелочами, растворителями, легковоспламеняющимися жидкостями, коллоксилином, эпоксидными смолами, лаками и др.) должны осуществляться в соответствии с требованиями действующих санитарных норм и правил, разд. Г настоящих Правил и дополнительными указаниями данного раздела Правил.
Ж-1-6. Концентрация вредных веществ в воздухе рабочей зоны не должна превышать допустимой санитарными нормами (приложение б).
Ж-1-7. При работе с метиловым спиртом должны соблюдаться требования «Общих санитарных правил по хранению и применению метанола».
Ж-1-8. Все работы в гальванических цехах, на участках и отдельных установках гальванопокрытий должны производиться в соответствии с ПТЭ и ПТБ (гл. ЭIII-1) и действующими «Правилами техники безопасности и производственной санитарии при производстве металле-покрытии».
Ж-1-9. Оборудование и рабочие места, на которых производятся лужение и пайка припоями, содержащими свинец, должны отвечать требованиям «Санитарных правил по устройству, оборудованию и содержанию участков, на которых производится пайка мелких изделий сплавами, содержащими свинец» (приложение 16) и следующим условиям:
рабочие места должны быть оборудованы местной вытяжной вентиляцией или паяльниками с вакуумными отсосами;
паяльники и другой ручной электрифицированный инструмент должны работать при напряжении не выше 36 В;
ванночки (тигли) для лужения и пайки деталей должны быть расположены в зоне действия местного вентиляционного отсоса и надежно закреплены.
Ж-1-10. При организации и выполнении слесарных, станочных (токарных, фрезерных, сверлильных, шлифовальных и т. п.), штамповочных и других механических работ при производстве резисторов следует руководствоваться требованиями соответствующих правил, указанных в приложении 1.
При эксплуатации абразивного и алмазного инструмента следует руководствоваться соответствующими ГОСТ «Инструмент абразивный. Правила и нормы безопасной работы с ним» и «Правила и нормы безопасной работы с алмазным инструментом».
Ж-1-11. На основе указанных правил и ГОСТ для непосредственных исполнителей работ на предприятии должны быть разработаны инструкции по технике безопасности и производственной санитарии, отражающие особенности производства и применяемого оборудования.
Ж-1-12. Производственные участки изготовления резисторов, на которых в процессе выполнения технологических операций возможно выделение вредных веществ, пыли, дыма и других аэрозолей, возникновение шума, вибраций и других факторов вредности, должны размещаться в отдельных помещениях, оборудованных с учетом требований технологического процесса вентиляцией, канализацией, фильтрами, отстойниками, звукоизоляцией и другими устройствами, обеспечивающими нормальные сантарно-гигиенические условия работающим и очистку производственных выбросов.
Ж-1-13. При организации технологических процессов производства резисторов необходимо предусматривать:
максимальную механизацию и автоматизацию технологических процессов основного, заготовительного и вспомогательного производства;
герметизацию процессов и операций, сопровождающихся образованием вредных веществ, пыли, дыма и других аэрозолей;
механизацию транспортировки материалов, полуфабрикатов и готовых изделий с применением удобной, безопасной в обращении унифицированной тары;
оборудование промежуточного складирования материалов, заготовок и готовых изделий так, чтобы не загромождались рабочие места, проходы, проезды, подступы к оборудованию, коммуникациям и т. д.;
систематическое удаление с производственных участков забракованных изделий и производственных отходов.
Ж-1-14. При выполнении массозаготовительных операций, при изготовлении и обработке керамических и стеклянных оснований (деталей) для резисторов, при приготовлении компонентов металлических сплавов для металлизации резисторов, различных порошков, пудр, мастик и суспензий, при приготовлении и нанесении эмали для остекловывания резисторов, а также при изготовлении капселей следует руководствоваться разд. В настоящих Правил.
При этом особенности эксплуатации оборудования и выполнения технологических операций при производстве резисторов должны быть отражены в инструкциях по технике безопасности и производственной санитарии, в эксплуатационных и технологических инструкциях.
Ж-1-15. При сооружении, монтаже, ремонте и эксплуатации электрических и газовых печей, сушильных шкафов, сушильных камер, термостатов, вакуумных сушильных установок и другого термического оборудования, применяемого в производстве материалов и изделий (резисторов), следует руководствоваться требованиями ПУЭ, ПТЭ, ПТБ и разд. В настоящих Правил.
При эксплуатации печей с контролируемыми газовыми средами следует руководствоваться также требованиями гл. И-6 настоящих Правил.
Ж-Ы6. При устройстве и эксплуатации вакуумных схем установок вакуумного напыления, вакуумных печей, вакуумных сушильных установок и другого вакуумного оборудования следует руководствоваться гл. Д-7 настоящих Правил.
Ж-1-17. При выполнении операций сварки на аппаратах точечной сварки необходимо соблюдать следующие меры безопасности:
все токоведущие части сварочных аппаратов, находящиеся под первичным напряжением, должны быть ограждены, а корпус и один из выводов вторичной обмотки трансформатора должны быть заземлены (занулены);
аппараты (машины) точной конденсаторной сварки должны иметь ограждения внутренних электрических цепей (конденсаторов и пр.), снабженные блокировкой, а в схемах машин должны быть предусмотрены разрядные сопротивления или другие устройства (автоматические замыкатели и т. п.), полностью снимающие остаточный заряд с конденсаторов после отключения машины (аппа-
рата) от питающей электросети; работа с закороченной блокировкой запрещается;
для устранения брызг расплавленного металла заготовки должны подаваться на сварку очищенными от загрязнений, окислов и масла;
в качестве индивидуальной защиты должны применяться прозрачные экраны или защитные очки и спецодежда;
перестановку и исправление электродов следует производить при снятом напряжении.
Ж-1-18. При применении в процессе выполнения технологических операций микроскопов и других оптических средств следует руководствоваться следующими требованиями:
работы, требующие напряжения зрения, должны производиться по такому режиму, чтобы обеспечивалась возможность чередования напряженных работ с менее напряженными или предусматривались через каждый час работы десятиминутные паузы (перерывы) с гигиеническими упражнениями преимущественно для органов зрения;
для предупреждения заболеваний оптические средства или их съемные насадки должны находиться в индивидуальном пользовании работников и периодически дезинфицироваться;
у микроскопов с подсветкой должны быть заземлены (занулены) корпус и один из выводов вторичной обмотки понижающего трансформатора;
ремонт микроскопов и других оптических средств должен быть централизованным.
Ж-1-19. В производственных помещениях и на установках, где возможно возникновение наведенных электрических зарядов, должны приниматься меры по их отведению или нейтрализации в соответствии с «Правилами за щиты от статического электричества в производствах химической промышленности» с применением новейших достижений науки и техники в этой области.
Ж-1-20. Эксплуатация всех видов оборудования, применяемого в производстве резисторов, в процессе выполнения технологических операций должна осуществляться обученным и проинструктированным персоналом, обеспеченным необходимыми приспособлениями, инструментом, защитными средствами, а также спецодеждой по установленным нормам.
Персоналу, выполняющему технологические операции, запрещается проникать внутрь оборудования за постоянные ограждения и устранять какие-либо дефекты в оборудовании, если он не проходил специальной подготовки и не допущен к ремонтным и наладочным работам.
На рабочих местах должны быть вывешены инструкции по технике безопасности и производственной санитарии,
Ж-1-21. Осмотр, ремонт, чистку, смазку, наладку и регулировку оборудования разрешается производить специально для этого обученным, а при эксплуатации электроустановок, радиоэлектронного оборудования, газовых сетей и оборудования, потребляющего газ, сосудов, работающих под давлением, и подъемно-транспортного оборудования аттестованным по соответствующим правилам работникам.
Регулировка механизмов, осмотр, ремонт и смазка оборудования должны производиться только после полной его остановки и отключения от электросети и других энергетических источников (газ, пар, сжатый воздух и т. п.) с соблюдением мер безопасности, указанных в «Общих правилах по технике безопасности и производственной санитарии для предприятий и организаций радио- и электронной промышленности».
Ж-1-22. Автоматические линии с большим количеством станков, напольные конвейеры для удобства обслуживания в необходимых местах должны иметь мостики с перилами высотой не менее 1 м со сплошной обшивкой по нижнему краю перил высотой не менее 150 мм.
Под навесными транспортерами должны устанавливаться улавливающие устройства и сетки, а в местах регулярного прохода людей прочные перекрытия.
ГЛАВА Ж-2. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ТОКОПРОВОДЯЩЕИ ЧАСТИ РЕЗИСТОРОВ
Ж-2-1. При изготовлении токопроводящей части резисторов следует руководствоваться указаниями, данными в гл. Ж-1, и выполнять дополнительно требования данной главы Правил,
ПРОВОЛОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ
Ж-2-2. Для намотки проволоки на керамические основания должны применяться специально для этого предназначенные намоточные станки (автоматы). При эксплуатации станков и выполнении операций по намотке проволоки должны соблюдаться следующие требования-
в работу должны включаться только исправные, налаженные станки; ременные и шестеренчатые передачи станков должны быть ограждены;
станки должны быть оборудованы устройствами автоматической остановки станка при намотке определенного количества витков и обрыве проволоки;
для исключения травмирования рук и глаз при намотке проволоки и приближении работающих к наматываемым резисторам и вращающимся частям станка зона намотки должна ограждаться прозрачным экраном из оргстекла с блокировкой, действующей на отключение станка при смещении экрана;