Е-10-7. Все операции проводить в строгом соответствии с технологическими инструкциями и технологическими процессами, используя при этом соответствующие защитные средства:
а) противогаз — при аварийном выделении вредных веществ в боксе (разрушении кварцевой аппаратуры и др.);
б) респиратор — при дроблении элементов (теллур, селен и др.), при загрузке колонн и реакторов порошкообразными материалами, при отборе проб;
в) защитные очки — при обслуживании установок и при работе с кислородно-пропановой горелкой.
Е-10-8. Демонтаж установки и извлечение готовой продукции должны производиться только после остывания всех частей установки до температуры не выше 40 °С.
ГЛАВА Е-П. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ
МОНОКРИСТАЛЛОВ ТИПА A"BVI И ПРИ ПРОВЕДЕНИИ
ПОДГОТОВИТЕЛЬНЫХ ОПЕРАЦИЙ
Е-11-1. Данный раздел предусматривает меры безопасности при проведении следующих процессов:
а) выращивания монокристаллов сульфида, селени-да и теллурида кадмия;
б) обработки исходного материала, заготовок и монокристаллов в вакууме и в атмосфере паров серы;
в) откачки и отпайки ампул, отжига монокристаллов, пересублимации соединений и роста монокристаллов теллурида кадмия;
г) роста заготовок и графитизации ампул;
д) синтеза полупроводниковых соединений теллурида и селенида кадмия, селенида свинца.
Все перечисленные процессы протекают при температурах 1000—1260°С. Установки питаются от сети переменного тока напряжением 380 В.
Е-11-2. При проведении работ на установках необходимо выполнять меры электробезопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-11-3. При работе с кислотами необходимо соблюдать меры предосторожности, изложенные в главах Г-1 и Г-3, при работе с химической посудой — в гл. Г-2 настоящих Правил.
Е-11-4. При работе с газами выполнять меры предосторожности, изложенные в «Правилах безопасности в газовом хозяйстве».
Е-П-5. Все операции необходимо проводить в строгом соответствии с технологическими инструкциями и технологическими процессами, используя при этом средства индивидуальной защиты:
а) респираторы при отборе проб, при загрузке ампул порошкообразными веществами (работу проводить в вытяжном шкафу);
б) резиновые перчатки, фартук и нарукавники из полиэтилена— при работе с порошкообразными материалами и кислотами;
в) соответствующие очки — при работе с кислотами, при обслуживании установок (наблюдение за ампулой в печи, отпайке ампул), при пользовании кислородно-пропановой горелкой.
Е-11-6. При обслуживании вакуумных установок необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в разд. Д настоящих Правил.
Е-П-7. Вскрытие рабочих камер установок с целью извлечения ампул с готовым продуктом производить после остывания всех частей установок не выше 40 °С.
ГЛАВА Е-12. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ
ПРИ ВЫПОЛНЕНИИ РАБОТ ПО ВЫРАЩИВАНИЮ
И ЗОННОЙ ОЧИСТКЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ АРСЕНИДА
ГАЛЛИЯ
Е-12-1. Для выращивания монокристаллов арсенида галлия используются металлический галлий, металлический мышьяк, арсенид галлия поликристаллический и борный ангидрид.
При работе с мышьяком, галлием и арсенидом галлия необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в главах Г-1 и Г-4 настоящих Правил.
Е-12-2. При работе на установке необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением», «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей», «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» и разд. К настоящих Правил.
Е-12-3. Высокочастотные установки должны удовлетворять требованиям, изложенным в разд. И, вакуумные— в разд. Д настоящих Правил.
Е-12-4. При работе с кислотами необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в главах Г-1 и Г-3, при работе с химической посудой — в гл. Г-2 настоящих Правил.
Е-12-5. Установка должна быть оборудована местной вытяжной вентиляцией.
Е-12-6. Загрузку мышьяка, галлия и арсенида галлия в камеру или кварцевую ампулу необходимо производить в вытяжном шкафу в резиновых перчатках. При взвешивании и загрузке брать вещества пинцетом.
Е-12-7. При установке кварцевой ампулы (вакууми-рованной до 5-10~5 мм рт. ст.) в печь предохранять ее от ударов. Установку производить в защитных очках.
Е-12-8. Установка выращивания монокристаллов арсенида галлия под давлением должна удовлетворять требованиям, изложенным в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давле-нием».
При работе установки должен осуществляться контроль:
за приборами, показывающими температуру (610 °С — «холодный конец», 1240°С — реакционная зона, 500 — 900 °С — фоновый нагрев);
за давлением в камере (давление не должно превышать 30—35 кгс/см2);
за подачей охлаждающей воды (на охлаждение тиратронов давление охлаждющей воды должно быть 2—3 кгс/см2);
на охлаждение камеры и крышек подачу воды регулировать с таким расчетом, чтобы наружная поверхность камеры имела температуру 20—30 °С.
Работу необходимо проводить в защитных очках.
Е-12-9. Вынимать кварцевую ампулу необходимо из отключенной и охлажденной до температуры не выше 40 °С печи.
Е-12-10. Разрезать ампулу для извлечения кристалла необходимо алмазным диском в защитных очках.
Е-12-11. При разрыве ампулы установка должна быть немедленно выключена и все работающие выведены из бокса.
Полную уборку и очистку рабочего места от последствий разрыва ампулы производить после охлаждения печи с применением средств индивидуальной защиты.
Е-12-12. Промывку камеры следует производить 3—5%-ным раствором щелочи с использованием средств индивидуальной защиты (противогаза марки М или БКФ, кислотостойких перчаток и полиэтиленовых нарукавников).
Е-12-13. Отходы галлия и его соединений необходимо собирать в специальные емкости с плотно закрывающейся крышкой. Емкости должны быть опломбированы,
Е-12-14. Обезвреживание отходов галлия и его соединений необходимо производить по способу обезвреживания мышьяковистого ангидрида (приложение 4).
Е-12-15. При использовании сжатых газов из баллонов необходимо выполнять требования, изложенные в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».
ГЛАВА Е-13. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ПОЛУЧЕНИИ ХАЛЬКОГЕНИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТЕКОЛ
Е-13-1. Для получения халькогенидных стекол используются следующие химические вещества: кремний, теллур, германий, мышьяк, селен, фосфор, сера, кадмий, сурьма, таллий, йод, галлий.
Е-13-2. Учитывая токсичность большинства вышеуказанных веществ, работающие на участке должны быть обеспечены средствами индивидуальной защиты.
Е-13-3. При работе на установке должны выполняться требования электробезопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей», «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» и разд. К настоящих Правил.
Е-13-4. При работе со сжатыми газами должны выполняться меры предосторожности, изложенные в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».
Е-13-5. Вытяжная вентиляция на участке должна включаться за 30 мин до начала работы. Запрещается работать при неисправной вентиляции.
Е-13-6. Заполнение кварцевых ампул должно проводиться в вытяжном шкафу в резиновых перчатках и респираторе.
Е-13-7. Установка ампул в кассету должна проводиться только в защитных очках, не допуская при этом резких ударов ампул о металлические части установки
Е-13-8. Перед напуском газа в установку должны быть проверены все резьбовые уплотнения на герметичность.
Е-13-9. При работе с ядовитыми веществами выполнять требования, изложенные в главах Г-1 и Г-4 настоящих Правил.
E-13-IO. Разгрузка продукта должна производиться после полного остывания установки.
Е-13-11. Упаковку продукта производить в вытяжном шкафу .в резиновых перчатках. Отходы убирать в специальную емкость с плотно закрывающейся крышкой и уничтожать в зависимости от свойств и токсичности материалов.
Е-13-12. Чистку камеры от аэрозолей производить в противопылевом респираторе, резиновых перчатках и при работающей вытяжной вентиляции с использованием пылеотсасывающих устройств.
Е-13-13. При повреждении ампул во время установки их в кассету установки необходимо:
удалить посторонних из помещения;
одеть респиратор и произвести уборку.
Е-13-14. При взрыве ампулы во время проведения процесса установка должна быть немедленно отключена и произведена очистка камеры после полного остывания установки. Очистка должна проводиться в противогазе марки М или БКФ.
ГЛАВА Е-14. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ПОЛУЧЕНИИ ДИФФУЗАНТОВ
Е-14-1. В настоящей главе отражены безопасные приемы работы при получении, расфасовке, маркировке и упаковке особочистых продуктов: трехбромистого бора— ВВг3, треххлористого фосфора — РСI 3, фосфорного ангидрида — Р 2О5.
Трехбромистый бор — бесцветная или слабоокрашенная в желтоватый цвет жидкость с едким запахом, сильно дымит на воздухе, образуя бромистый водород, в воде бурно гидролизуется с выделением большого количества тепла в сопровождении взрыва. Температура плавления 46, температура кипения 90,5 °С, плотность 2,65.
Растворяется в четыреххлористом углероде, сероуглероде, бензоле и толуоле. Трехбромистый бор сильно раздражает дыхательные пути и слизистые оболочки глаз и кожу, вызывая светобоязнь, потерю зрения, раз-
дражение гортани, удушливый кашель, сильные ожоги кожи.
Треххлористыи фосфор (РС13) — бесцветная жидкость с едким запахом, температура кипения 76, температура плавления 91°С, плотность 1,57; растворяется в эфире, хлороформе, сероуглероде. Дымит на воздухе, образуя НС1. В воде бурно гидролизуется с выделением большого количества тепла, иногда в сопровождении взрыва. Пары гидролизуются уже во влажном воздухе. Треххлористыи фосфор сильно раздражает дыхательные пути (в 5—10 раз сильнее, чем образующийся из него НС1), глаза.
Фосфорный ангидрид (P 2O 2), или пятиокись фосфора, представляет собой белое аморфное вещество, быстро поглощает влагу, образуя фосфорные кислоты, поэтому при соприкосновении с кожей тела может вызвать сильные ожоги. Разрушает слизистые оболочки дыхательных путей, вызывая кашель, удушье, слезотечение. При соприкосновении с водой бурно гидролизуется с выделением большого количества тепла (возможны взрывы). Хранить фосфорный ангидрид следует в стеклянной, металлической или полиэтиленовой посуде с пробками, залитыми парафином.
Е-14-2. Учитывая свойства треххлористого фосфора и трехбромистого бора, все узлы и части установок, приборы, полиэтиленовые шланги, газ-носитель не должны иметь следов влаги и должны быть постоянно чистыми во избежание гидролиза и взрыва.
Е-14-3. При работе на электроустановках необходимо соблюдать меры электробезопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-14-4. Категорически запрещается создавать в колонне давление выше допустимого. В случае образования избыточного давления газов в колонне выше допустимого процесс синтеза и хроматографической очистки должен быть прекращен (установка выключена, отключен обогрев масляных бань и реактора, перекрыты вентили подачи газа-носителя в систему). Разборку установки производить при отсутствии давления в системе.
Е-14-5. Все операции, связанные с получением трехбромистого бора, треххлористого фосфора, фосфорного ангидрида, проводить в боксе, в вытяжном шкафу или
скафандре. На рабочем месте должен быть противогаз соответствующей марки (приложение 13).
Е-14-6. Сосуды с продуктами трехбромистого бора и треххлористого фосфора должны быть постоянно закрыты плотно притертыми пробками и установлены в вытяжном шкафу, где не должно быть наличия влаги.
Е-14-7. Расфасовку треххлористого фосфора и трехбромистого бора производить в скафандре.
Е-14-8. В случае внезапного повреждения емкости (колбы, бутыли) с трехбромистым бором и треххлори-стым фосфором или случайного разлива следует немедленно предупредить о случившемся работающих поблизости, одеть противогаз, резиновые перчатки, сапоги и нейтрализовать разлившийся продукт кальцинированной содой, которая обязательно должна быть на рабочем месте.
Утилизацию отходов производить в соответствии с инструкцией, согласованной с санэпидстанцией.
Е-14-9. Перед запайкой ампулы с готовой продукцией— трехбромистым бором и треххлористым фосфором— должны охлаждаться в жидком азоте до температуры 15—20 °С (на дне ампулы на '/з объема продукт должен быть в замороженном состоянии).
Е-14-10. Хранение и транспортировка трехбромистого бора и треххлористого фосфора должны производиться в соответствии с требованиями, изложенными в главе Е-24.
Е-14-11. При работе со сжиженным азотом необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в главе Г-18.
ГЛАВА Е-15. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ
НА УЧАСТКЕ ПРОИЗВОДСТВА ХРОМОРГАНИЧЕСКИХ
СОЕДИНЕНИИ (ХОС)
Е-15-1. При производстве хроморганических соединений применяются легковоспламеняющиеся токсичные вещества (бензол, этилбензол, метиловый спирт), металлический натрий, кислоты и мелкодисперсные порошки (алюминия, хлористого алюминия, хлористого хрома и др.).
Е-15-2. Хроморганические соединения, получаемые в результате реакции, относятся к высокотоксичным веществам. Кроме того, они гидролизуются влагой возду-
ха, легко окисляются кислородом, могут самовоспламеняться при соприкосновении с ватой и другими пористыми горючими веществами на воздухе Поэтому при работе с ХОС требуются особые меры предосторожности.
Е-15-3. Помещения производства ХОС должны удовлетворять требованиям, изложенным в «Противопожарных нормах проектирования промышленных предприятий»
Е-15-4. Работающие на участке должны быть обеспечены соответствующими средствами индивидуальной защиты.
Е-15-5. Все оборудование, являющееся источником выделения вредных веществ, должно быть оборудовано местной вытяжной вентиляцией, процессы — герметизированы
Е-15-6. Проведение работ на электрооборудовании необходимо осуществлять в соответствии с «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» (ПТЭ)
Е-15-7. При работе с легковоспламеняющимися веществами необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в главах Г-1, Г-7 настоящих Правил; при работе с метиловым спиртом, кроме того, — «Санитарные правила» (приложение 2)
Е-15-8. При работе с кислотами необходимо выполнять требования, изложенные в главах Г-1 и Г-3, при работе с металлическим натрием — в главах Г-1 и Г-5 настоящих Правил.
Е-15-9. Загрузку в реакторы бензола, метанола, этилбензола и др необходимо производить в противогазе и резиновых перчатках.
Е-15-10. Работа с хроморганическими соединениями должна проводиться в условиях, исключающих контакт их с воздухом и влагой
Применяемая аппаратура не должна иметь следов влаги и заполняется аргоном или сухим азотом.
Загорание ХОС в приборе ликвидируется увеличением подачи аргона или азота
Е-15-11. Загорание хроморганических соединений гасить только сухим песком или углекислотным огнетушителем
Е-15-12. При работе с органическими растворителями или металлорганическими соединениями в качестве
транспортирующего газа использовать инертные газы (аргон или особо чистый азот)
Е-15-13. Давление в аппаратах из стекла не должно превышать 0,5 кгс/см2.
Е-15-14. При монтаже оборудования использовать инструмент в искробезопасном исполнении.
Е-15-15. В помещении участка не допускать применение открытого огня.
Е-15-16. Запрещается производить ремонтные работы на линиях и в аппаратах, находящихся под давлением, вакуумом или заполненных жидкостью.
ГЛАВА Е-16. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКАХ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТОВ
Е-16-1. При производстве фоторезистов применяется большое количество легковоспламеняющихся и горючих веществ (диоксан, диметилформамид, метилэтилкетон, этилацетат), бром, треххлористый фосфор, формалин концентрированный, фенолформальдегидные смолы и другие вещества.
Процесс получения фоторезистов ведется в основном в стеклянной аппаратуре.
Е-16-2. Получение фоторезистов относится к пожаро-и взрывоопасным процессам и должно производиться в помещениях, удовлетворяющих требованиям, изложенным в «Противопожарных нормах проектирования зданий и сооружений».
Е-16-3. При работе с легковоспламеняющимися веществами необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в главах Г-1 и Г-7 настоящих Правил.
Передавливание ЛВЖ производить только с помощью инертных газов (азот, аргон).
Е-16-4. Электрооборудование должно применяться во взрывобезопасном исполнении.
Е-16-5. Электросветильники должны быть выполнены во взрывозащищенном исполнении.
Е-16-6. Запрещается пользоваться открытыми нагревательными приборами и применять открытый огонь
Е-16-7. Все сварочные и ремонтные работы должны проводиться по специальному допуску начальника цеха. Все оборудование должно быть очищено от остатков реакционной массы и других химических материалов, заполнено инертным газом (или водой).
Е-16-8. Защита от статического электричества должна осуществляться в соответствии с «Правилами защиты от статического электричества в производствах химической промышленности».
Е-16-9. При работе на электроустановках необходимо соблюдать меры безопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-16-10. Использовать инструмент необходимо во взрывобезопасном исполнении.
Е-16-11. При работе с кислотами выполнять меры безопасности, изложенные в главах Г-1 и Г-3 настоящих Правил
Е-16-12. Работающие должны быть обеспечены средствами индивидуальной защиты в зависимости от применяемых веществ и вида работ.
Е-16-13. Оборудование должно быть снабжено местными отсосами и ловушками для улавливания выбрасываемых токсичных веществ.
Е-16-14. Работы, связанные с загрузкой пятиокиси фосфора и трсххлористого фосфора, производить в противогазе, резиновых перчатках и защитном фартуке па специально оборудованном месте
Свойства веществ изложены в гл. Е-14.
Е-16-15. При работе на дробильно-размольном оборудовании выполнять меры безопасности, изложенные в гл. Е-1.
Е-16-16. Запрещается использовать стеклянные бутыли для засасывания в них вакуумом реакционных масс или продуктов из емкостей и аппаратов.
Е-16-17. При работе со стеклянной посудой соблюдать меры безопасности, изложенные в гл. Г-2 настоящих Правил
ГЛАВА Е-17. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ НА УЧАСТКЕ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Е-17-1. Работа на участке фотолитографии связана с применением ЛВЖ (легковоспламеняющихся жидкостей) диоксана, ацетона, толуола и др., кислот (приложение 14). При организации работы с химическими веществами необходимо руководствоваться гл. Г-1 настоящих Правил.
Е-17-2. При работе с ЛВЖ соблюдать меры предосторожности, изложенные в гл. Г-7, а при работе с кислотами— Г-3 настоящих Правил. Перед началом работы с диоксаном и фоторезистами на диоксане необходимо проверять наличие в них перекисных соединений.
Е-17-3. Хранение фоторезистов и все операции с ними необходимо проводить в вытяжном шкафу.
Е-17-4. При эксплуатации установок нанесения фоторезиста и экспонирования необходимо пользоваться защитными очками для защиты глаз от ультрафиолетового излучения.
Е-17-5. При работе на электроустановках соблюдать меры безопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-17-6. Работающие на участке должны быть обеспечены средствами индивидуальной защиты в зависимости от свойств применяемых веществ.
ГЛАВА Е-18. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ДИФФУЗИИ И СПЛАВЛЕНИИ
Е-18-1. Работа при обслуживании диффузионных печей связана с применением электроэнергии, кислорода, инертного газа, кислот.
Е-18-2. При работе на электроустановках должны соблюдаться меры безопасности, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-18-3. При работе с сосудами, работающими под давлением, необходимо выполнять требования, изложенные в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».
Е-18-4. При работе с кислотами выполнять требования, изложенные в главе Г-3 настоящих Правил.
Е-18-5. Организацию работ на химическом участке осуществлять в соответствии с требованиями, изложенными в гл. Г-1 настоящих Правил.
Е-18-6. Механизмы управления и обслуживания печей необходимо располагать в таких местах, чтобы рабочие на подвергались воздействию температуры и вы-
делающихся газообразных веществ. Печи должны быть оборудованы местными вытяжками.
Е-18-7. Загрузку пластин (ампул) в диффузионную трубу, а также их выгрузку производить только с помощью специального кварцевого крюка.
Е-18-8. Температра наружных поверхностей печей не должна быть выше 40 °С.
ГЛАВА Е-19. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКАХ ДИФФУЗИИ МЫШЬЯКА
Е-19-1. Диффузионные электрические печи должны соответствовать «Правилам устройства электроустановок» и эксплуатироваться в соответствии с «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», располагаться в специальных укрытиях (типа вытяжных шкафов с плотно закрывающимися створками), оснащенных вытяжной вентиляцией.
Е-19-2. На участке диффузии мышьяка производятся следующие работы, при выполнении которых имеет место непосредственный контакт работающих с металлическим мышьяком: