Е-1-7. Набор сит в станине вибросита должен быть надежно закреплен во избежание выпадения.
Е-1-8. Во избежание загрязнения воздушной среды производственных помещений пылью мелкодисперсных порошков на ситах и барабанах должны применяться уплотняющие прокладки (из резины, фторопласт). Барабаны перед установкой на валки должны очищаться от пыли мокрой ветошью.
Е-1-9. Для хранения мелкодисперсных порошков должны применяться полиэтиленовые пакеты и тара с крышками, исключающими возможность высыпания порошков.
Е-1-10. При работе с растворителями (на операциях промывки барабанов, шаров и тары) необходимо выполнять требования, изложенные в разделах Г-1, Г-3 и Г-7.
Е-1-11. Все операции с мелкодисперсными порошками (взвешивание, смешивание, загрузку в барабаны, дро'б-ление, размол, просев и т. д.) производить в вытяжном шкафу с эффективной системой отсоса, оборудованной специальными фильтрами для задержания порошков.
Е-1-12. Ручное дробление слитков на хромокремние-вой основе до кусков размером 60 мм производить осторожно в вытяжном шкафу с опущенными шторками.
Е-1-13. Работа с пирофорными (самовозгорающимися) порошками (сушка, размол, просев, смешение и бри-кетирование) должна производиться с предосторожностями, изложенными в гл. Г-12 настоящих Правил.
Е-1-14. Организацию и проведение работ на электроустановках необходимо осуществлять в соответствии с «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» (ПТЭ) и «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
ГЛАВА Е-2. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ПОЛУЧЕНИИ
РЕЗИСТИВНЫХ СПЛАВОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ
И ХРОМА
Е-2-1. Сплавы на основе кремния и хрома производятся путем сплавления исходных чистых металлов в индукционной печи на воздухе без применения флюсов при температуре 1 400—1 600 °С.
Е-2-2. При обслуживании плавильных индукционных печей необходимо выполнять требования, изложенные в разделе И настоящих правил.
Е-2-3. Работающие должны быть обеспечены соответствующей спецодеждой (суконным костюмом, брезентовыми рукавицами) и средствами индивидуальной защиты (защитными очками с синими стеклами, респиратором и т. д.).
Е-2-4. Установка должна быть оборудована местной вытяжной вентиляцией.
Е-2-5. Перед проведением сплавления необходимо проверить исправность установки (целостность тигля и его футеровки, исправность асбоцементного ограждения плавильного отсека, наличие и исправность защитного заземления, проверить блокировку по воде. В систему охлаждения должна быть подана вода и проверено отсутствие подтекания.
Е-2-6. За процессом плавки необходимо следить че-рез защитные стекла.
Е-2-1. Для перемешивания расплава необходимо использовать только сухой и подогретый инструмент. В случае розлива сплава в изложницу последняя должна быть подогрета перед разливкой.
Разливку сплава производить в спецодежде (суконных брюках, куртке, рукавицах). Глаза должны быть защищены очками с синими стеклами.
Е-2-8. В случае прорыва металла через футеровку тигля печь должна быть отключена и увеличена подача воды в индуктор.
Е-2-9. При использовании в качестве компонентов сплава или флюсов огнеопасных веществ (металлических титана, циркония и т. п.) необходимо выполнять требования, изложенные в разделах Г-14 и Г-15 настоящих Правил.
Е-2-10. Выемку слитка из тигля или из изложницы производить после его полного остывания до температу-ры не выше 40 °С.
ГЛАВА Е-3. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ
МОНООКИСЕИ КРЕМНИЯ, ГЕРМАНИЯ, ТИТАНА И ГРАНУЛ
АЛЮМИНИЯ
Е-3-1. Моноокиси кремния, германия и титана получают в вакууме путем синтеза металлических кремния, германия, титана и их двуокисей при температуре 1 350, 880 и 1 550 С соответственно. Гранулы алюминия получают путем разлива алюминия в вакууме в графитовые изложницы при температуре 680—720 °С.
Е-3-2. Организацию работ на электроустановках необходимо осуществлять в соответствии с «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» и разделом К настоящих Правил.
Е-3-3. При обслуживании индукционных вакуумных и вакуумных установок необходимо выполнять требования, изложенные в разделах И и Д настоящих Правил. Е-3-4. При обслуживании дробильно-размольного оборудования соблюдать требования, изложенные в разделе Е-1 настоящих Правил.
Е-3-5. Операции, сопровождающиеся поступлением мелкодисперсных порошков в воздушную среду, должны проводиться в вытяжных шкафах с соответствующими скоростями движения воздуха в рабочих проемах, обеспечивающих минимальный захват порошка.
Е-3-6. При работе с мелкодисперсным порошком титана необходимо выполнять требования, предъявляемые к работам с легковоспламеняющимися мелкодисперсными порошками разделами Г-14 и Г-12 настоящих Правил.
Е-3-7. Очистку вакуумных камер от конденсата, образующегося в процессе синтеза моноокисей, производить обязательно в респираторе и герметичных очках в резиновой оправе типа ПО-1.
Е-3-8. Во избежание ожогов все работы, связанные с прикосновением к нагретому оборудованию, производить в суконных или брезентовых рукавицах
При загрузке и выгрузке емкостей с шихтой из термических печей необходимо пользоваться специальным инструментом — совком с длинной ручкой для лодочек, ухватом с длинной ручкой для стакана и поддерживающим крючком также с длинной ручкой.
Е-3-9. При выгрузке продукта из всех установок использовать противопылевой респиратор и герметичные очки в резиновой оправе (типа ПО-1).
Е-3-10. Очистку рабочих камер всех установок производить с применением пылеуборочного оборудования и индивидуальных средств защиты (очков, респиратора, халата, резиновых перчаток).
Промывку камер установок производить в индивидуально закрепленных за работающими противогазах соответствующей марки (приложение 13).
Во избежание интенсивного окисления конденсата (тления его) при чистке необходимо выдерживать камеру в открытом состоянии перед чисткой в течение не менее 30 мин.
ГЛАВА Е-4. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ
МЕЛКОДИСПЕРСНЫХ ПОРОШКОВ ОКИСЛОВ, СТЕКЛА
И КЕРАМИКИ НА ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВКАХ
Е-4-1. Высокочастотные плазменные установки предназначены для получения шлифовальных порошков, порошков окислов металлов, стекол и керамики, двуокиси циркония. Продуктами реакции являются окислы металлов, стекло и керамика в виде мелкодисперсного порошка, оседающего в конденсационной камере, и газообразные вещества, удаляемые из реакторной камеры и других технологических узлов вытяжной вентиляцией.
Е-4-2. При работе на высокочастотных вакуумных установках должны выполняться требования, изложенные в «Правилах технический эксплуатации электроустановок потребителей», «Правилах техники бе-зопасиости при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-4-3. Размер зерна порошков колеблется в пределах от 0,2 до 0,025 мм. Насыпной вес их примерно в 3 раза меньше удельного веса компактного металла. Эти физические свойства позволяют тонким порошком легко распространяться в воздухе помещений и образовывать невидимую для глаз запыленность воздуха. Поэтому все работы с сухими порошками (выгрузка и загрузка продукта и др ) проводить в вытяжном шкафу с эффективной местной вытяжной вентиляцией.
Е-4-4. При работе с кислородом необходимо помнить, что масло при контакте с кислородом самовоспламеня-
ется и возможен взрыв, поэтому вблизи работы с кисло родом масла не должно быть.
Е-4-5. Газовая (кислородная) линия должна прове-ряться на герметичность. 1 Е-4-6. При обслуживании высокочастотных плазмен ных установок необходимо соблюдать требования элеккт-робезопасности, изложенные в «Правилах те эксплуатации электроустановок потребителей», лах техники безопасности при эксплуатации тановок потребителей» и разд. К настоящих Правил
Е-4-7. Высокочастотная плазменная установка долж на быть заэкранирована, удовлетворять требованиям, изложенным в разделе И настоящих Правил, и oборудо вана эффективной местной вытяжной вентиляцией для удаления продуктов реакции (хлора и др.).
Е-4-8. Для обслуживания установки работающие дол-_ жны быть обеспечены всеми средствами индивидуальной защиты (противогазом, халатом, резиновыми перчатка-ми), в том числе защитными очками от интенсивной све_ тоизлучения.
Е-4-9. Загрузку и выгрузку продукта производить в специально приспособленном вытяжном шкафу в респи раторе, резиновых перчатках, фартуке и нарукавниках
Е-4-10. Очистку и промывку съемных деталей новки (вибробункера, испарителя, соединительной ки и т. д.) производить в вытяжном шкафу с эффектив ной местной вытяжной вентиляцией.
Е-4-11. При работе с легковоспламеняющимися костями необходимо соблюдать требования, изложенные в разделах Г-1, Г-7 настоящих Правил.
ГЛАВА Е-5. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ДЕГАЗАЦИИ И ГРАНУЛИРОВАНИИ ЧИСТЫХ МЕТАЛЛОВ
Е-5-1. Выплавка и гранулирование чистых
производится в вакуумной 1 100 °С.
в вакуумной установке при температуре
При ее обслуживании должны выполняться требова
ния, изложенные в «Правилах технической зксплуатации электроустановок потребителей», «Правилах техники без опасности при эксплуатации электроустановок потреби телей» и разд. Д настоящих Правил.
Е-5-2. При производстве гранул металлов методом резки пругка на пресс-ножницах со специальным штампом, последние должны удовлетворять требованиям, изложенным в «Правилах техники безопасности и производственной санитарии в кузнечно-прессовом производстве».
Работу производить в хлопчатобумажных перчатках.
Е-5-3. При использовании баллонов со сжатыми газами должны выполняться требования, изложенные в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».
Е-5-4. Все работы с ЛВЖ производить с соблюдением мер предосторожностей, изложенных в главах Г-1 и Г-7 настоящих Правил.
Е-5-5. Плавка на вакуумной установке должна быть прекращена:
при резком повышении давления в камере выше 0,2 кгс/см2 (избыточного);
при сильном нагреве (выше 60 °С) отдельных частей рабочей камеры, особенно вблизи вакуумных уплотнений;
при появлении светонепроницаемого налета на смотровых стеклах;
при возникновении какой-либо неисправности в системах водяного охлаждения, электропитания и управления установкой.
Е-5-6. Выемку остатка слитка производить после остывания его в вакууме.
Е-5-7. Чистку рабочей камеры производить в халате, респираторе, резиновых перчатках, с использованием пы-леотсасывающих устройств.
ГЛАВА Е-6. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКЕ ПО ОЧИСТКЕ ХЛОРИДА ЦИРКОНИЯ
Е-6-1. Хлорид циркония — порошок, гидролизующий-ся на воздухе с выделением хлористого водорода, поэтому хранить его необходимо в скафандре в полиэтиленовой упаковке.
Е-6-2. При работе на установке должны выполняться требования, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-6-3. Очистку хлорида циркония необходимо проводить на установке по пересублимации в токе инертною газа в вытяжном шкафу.
Е-6-4. Загрузку новых порций хлорида циркония и разгрузку необходимо проводить в перчатках, нарукавниках, фартуке, респираторе и защитных очках в вытяж-ном шкафу. .Установка при этом должна быть отключена.
Б-6-5. Выемку противней с хлоридом циркония про-изводгть после остывания их до температуры 70—80 °С.
ГЛАВА Е-7. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ
НА УСТАНОВКЕ ПО ПОЛУЧЕНИЮ СУРЬМЯНЫХ
И МЫШЬЯКОВЫХ СТЕКОЛ
Е-7-1. Для получения сурьмяных и мышьяковых стекол используются следующие материалы:
для сырьмяных стекол — окись сурьмы и двуокись кремния;
для мышьяковых стекол — окись мышьяка и окись свинца.
Используемые материалы токсичны, поэтому работать с ними необходимо в вытяжном шкафу с эффективной вытяжной вентиляцией.
Е-7-2. При работе с ядовитыми веществами (окисью мышьяка) необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в главах Г-1 и Г-4 настоящих Правил.
Е-7-3. При работе с растворителями, кислотами и щелочами необходимо выполнять меры предосторожности изложенные в главах Г-1 и Г-3 настоящих Правил.
Е-7-4. При работе со свинцом необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в разд. Г-11 настоящих Правил.
Е-7-5. Установки получения сурьмяных и мышьяковых стекол должны быть установлены в укрытиях типа вытяжных шкафов с эффективной местной вытяжкой и размещены в боксах.
Е-7-6. Загрузка и выгрузка продуктов должны производиться в вытяжном шкафу.
Е-7-7. При работе на установке должны выполняться требования, изложенные в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей», «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» и разделе К настоящих Правил.
ГЛАВА Е-8. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ ПОЛУЧЕНИИ ОСОБО ЧИСТОГО ХЛОРИДА МЫШЬЯКА
Е-8-1. Процесс получения особо чистого хлорида мышьяка состоит из следующих основных технологических циклов;
синтеза треххлористого мышьяка; термообработки треххлористого мышьяка; сорбционной очистки треххлористого мышьяка; вакуумной дистилляции треххлористого мышьяка.
Работа на установке связана с применением электронагревательных печей закрытого типа (английские ленточные нагреватели и «шапки») с использованием сжа-гых газов (гелия и хлора), сжиженного азота, создания разрежения в системе при помощи форвакуумного насоса.
Е-8-2. Организацию и проведение работ на электроустановках необходимо выполнять в соответствии с «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей» (ПТЭ) и «Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» (ПТБ).
Е-8-3. При использовании сжиженных газов необходимо выполнять требования, изложенные в «Правилах устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением».
Е-8-4. При работе со сжиженными газами необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в гл. Г-18 настоящих Правил.
Е-8-5. При обслуживании вакуумных установок необходимо выполнять требования, изложенные в разд. Д настоящих Правил.
Е-8-6. Элементарный мышьяк As благодаря своей нерастворимости в чистом виде не вызывает отравления, по может оказываться ядовитым вследствие окисления в мышьяковистый ангидрид потом или слюной
При работе с ядовитыми веществами необходимо выполнять меры безопасности, изложенные в главах Г-1 и Г-4 настоящих Правил.
Е-8-7. Хлор обладает резким удушающим запахом, оказывает сильное раздражающее действие на слизи-
стые оболочки, растворяется в значительных количествах в крови.
Опытная установка должна работать по постоянным-наблюдением ответственного лица, имеющего специальную техническую подготовку.
Е-8-8. При заполнении лабораторного баллона хлором необходимо работать в спецодежде (халате, резиновых перчатках) и противогазе, по мере заполнения его проводить контрольные взвешивания баллона во избежание переполнения и разрыва. Рабочее место для заполнения должно быть удалено от мест скопления людей, оборудовано спецсигнализацией и эффективной местной вытяжной вентиляцией.
Е-8-9. Во время проведения синтеза хлорида мышьяка соблюдать осторожность при поступлении хлора в реактор. Необходимо подавать его с небольшой скоростью во избежание бурного развития реакции и нарушения целостности аппаратуры.
Периодически очищать гидрозатвор от образующегося осадка во избежание закупорок и возрастания давления в системе. Работу проводить в халате, резиновых перчатках, имея при себе противогаз соответствующей марки.
E-8-IO. Во время проведения термообработки с сорб-ционной очисткой не допускать загрузок куба (колбы) треххлористым мышьяком более чем на 3/4 его объема. Строго поддерживать заданный температурный режим электронагревательных печей, следить за подачей воды в холодильники и выходом гелия в гидрозатворе. Подачу воды в холодильники необходимо прекращать только после окончания работ и полного охлаждения установки. Работу проводить в халате, резиновых перчатках, загрузку продукта — в фартуке, нарукавниках и противогазе.
Е-8-11. Во время проведения вакуумной дистилляции следить за соблюдением целостности аппаратуры. Работу проводить в халате, резиновых перчатках, имея при себе противогаз.
Е-8-12. Все операции на установке получения особо чистого хлорида мышьяка должны проводиться в специальном боксе при действующей вытяжной вентиляции. Рабочее положение дверей бокса — закрытое. Вход в бокс при необходимости вмешательства в работу установки допускается только в противогазе.
Е-8-13, Контроль герметичности всей аппаратуры и коммуникаций осуществлять с помощью раствора аммиака (появление белого дыма хлористого аммония говорит о нарушении герметичности в данном месте).
Е-8-14. Разгрузку треххлористого мышьяка проводить в халате, перчатках, фартуке, нарукавниках, противогазе.
Е-8-15. При демонтаже отдельных узлов установки предварительно продувать их инертным газом до полного удаления хлорида мышьяка в отходящих газах.
Е-8-16. Освободившаяся тара и детали установки должны быть тщательно обезврежены от соединений мышьяка силами персонала, обслуживающего установку, и только после этого передаваться на обычную мойку.
Обезвреживание тары из-под мышьяка производить в соответствии с «Инструкцией по обезвреживанию и уничтожению сильнодействующих ядовитых веществ» (приложение 4).
Е-8-17. При аварийных моментах:
нарушении герметичности в системе подачи хлора и его утечке;
нарушении целостности хлоратора, колонок сорбцион-ной очистки и термообработки, склянок вакуумной дистилляции и неизбежной при этом утечке паров треххлористого мышьяка;
нарушении целостности емкостей и аппаратуры (кубов, приемников, напорных емкостей и т. п.) и неизбежном при этом разливе жидкого треххлористого мышьяка;
при прекращении подачи воды в холодильники работа должна быть немедленно прекращена, отключено электропитание, прекращена подача сжатых газов (хлора, гелия), закрыты двери рабочего бокса, включены все вытяжные вентиляторы (обслуживающие данное помещение), удален из помещения весь обслуживающий персонал.
Е-8-18. Все работы по ликвидации аварии должны выполняться в противогазах и полном комплекте спецодежды (халате, фартуке, нарукавниках, перчатках).
Е-8-19. Разлитый треххлористый мышьяк необходимо залить небольшим количеством воды и засыпать содой (сода должна постоянно находиться на рабочем месте). После нейтрализации проверти тщательную уборку участка.
ГЛАВА Е-9. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ
НА ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ УСТАНОВКЕ СИНТЕЗА
ТРЕХСЕРНИСТОЙ СУРЬМЫ
Е-9-1. Для синтеза трехсернистой сурьмы на высокочастотной установке применяются сера и сурьма. При термообработке серы выделяются газы — сероводород и окислы серы (SO2 и SO3), которые относятся к токсичным веществам. Сурьма и ее соединения в виде паров и аэрозолей также очень токсичны.
В связи с тем что процесс связан с выделением в воздушную среду вредных веществ, установка должна быть установлена в отдельном помещении (боксе) и оборудована местной вытяжной вентиляцией.
Е-9-2. Высокочастотная установка должна быть за-экранирована от излучений и удовлетворять требованиям, изложенным в разд. И настоящих Правил.
Е-9-3. При обслуживании установки необходимо соблюдать требования электробезопасности, изложенные в разд. К настоящих Правил, в «Правилах технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-9-4. При работе со стеклянной и другой химической посудой выполнять меры безопасности, изложенные в гл. Г-2, при работе с кислотами и щелочами — в главах Г-1, Г-3 настоящих Правил.
Е-9-5. Работающие на установке должны быть обеспечены средствами индивидуальной защиты (противогазом марки М или «БКФ», респиратором «Лепесток», защитными очками, резиновыми и диэлектрическими перчатками).
Загрузку и выгрузку продукта производить в респираторе и перчатках, во время синтеза надевать защитные очки.
Е-9-6. Перед началом работы кварцевый реактор должен быть тщательно осмотрен. Наличие трещин, сколов и глубоких продольных рисок недопустимо.
Е-9-7. Демонтаж установки и извлечение готовой продукции необходимо производить после остывания реактора и всех частей установки до температуры не выше 40 °С.
Е-9-8. Запрещается заходить в бокс без противогаза во время аварийного состояния,,
ГЛАВА Е-10. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ
НА УСТАНОВКАХ ОЧИСТКИ КАДМИЯ, СЕРЫ, СЕЛЕНА,
ТЕЛЛУРА, ЦИНКА И СИНТЕЗА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
СОЕДИНЕНИИ
Е-10-1. В данном разделе рассматриваются меры безопасности при работе на установках по термообработке и дистилляции серы, по ректификации кадмия, селена, цинка и теллура, а также на установках М-73 для синтеза полупроводниковых соединений типа Ап BVI — сульфида, селенида и теллурида кадмия и цинка.
Е-10-2. В связи с тем что аэрозоли всех выше перечисленных веществ и их сульфиды токсичны, а при термообработке серы образуются токсичные газы — сероводород и окислы серы SO2 и SO3, работы на установке как по очистке элементов, так и по синтезу их соединений, необходимо проводить в особом помещении-боксе.
Е-10-3. При обслуживании установок необходимо соблюдать требования электробезопасности, изложенные в разделе К настоящих Правил, «Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилах техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей».
Е-10-4. При работе с газами необходимо соблюдать меры безопасности, изложенные в «Правилах безопасности в газовом хозяйстве».
Е-10.5. При работе с кислотами необходимо выполнять меры предосторожности, изложенные в главах Г-1 и Г-3 настоящих Правил.
Е-10-6. Работающие на установке очистки элементов и синтеза полупроводниковых соединений должны быть обеспечены средствами индивидуальной защиты — противогазом, респиратором, резиновыми перчатками, суконными (или брезентовыми) рукавицами.