Д-7-7. Вакуумное оборудование, при размещении на производственных площадях, группировать участками по назначению и с учетом вероятности наличия аналогичных факторов опасности и вредности.
Д-7-8. Откачные посты для крупногабаритных вакуумных изделий могут устанавливаться непосредственно у изделия на его месте нахождения, но при обязательном устройстве выхлопа за пределы воздушной среды помещения.
Д-7-9. Электроннолучевые установки, электронные микроскопы, масс-спектрометры и т. п. оборудование, действие которого основано на вакууме, устанавливать на производственных площадях при обязательном принятии мер, исключающих воздействие на работающих факторов, указанных в п. Д-7-3 и удовлетворяющих требованиям п. Д-7-4.
Д-7-10. Откачные посты и работающие в сочетании с ними другие виды оборудования, используемые в лабораторных условиях, должны удовлетворять следующим требованиям:
органы управления электротехнических и радиоэлектронных устройств, применяемых при работе, размещать с учетом обеспечения безопасности и удобства работы;
все потребители электроэнергии, кроме индивидуальных откачных устройств, должны отключаться общим выключателем на рабочем месте поста;
не должно быть токоведущих частей, доступных случайному прикосновению;
должны быть предусмотрены средства и устройства, исключающие непосредственный контакт работающего с оголенными токоведущими частями за счет применения разъемов, штепсельных соединений, переключателей и тумблеров и т. п. конструкций;
рабочие камеры, в которые помещаются изделия электронной техники на обработку электрическим током и электрическим напряжением оборудуются защитными блокировками, автоматическими замыкателями (механическими заземлителями);
в местах возможного излучения СВЧ энергии, рентгеновских излучений, электромагнитного поля должны устанавливаться экранировки и ограждения, обеспечивающие требования санитарных норм;
на панелях и пультах управления иметь световую, звуковую сигнализации, а также соответствующие надписи у всех органов управления;
места заливки жидкого азота (гелия) в ловушки насосов должны оборудоваться со стороны пульта управления и как исключение с других сторон, но при обеспечении свободного подхода, максимального удобства и безопасности;
обезгаживание вакуумных систем и вакуумных изде--лий должно осуществляться преимущественно электроустройствами, которые исключают вероятность поражения током и ожогов;
при подведении электропитания от общих источников (выпрямители, импульсные генераторы, генераторы высокой, ультравысокой и сверхвысокой частоты и т. д.), установленных вне поля зрения работающего, должно оборудоваться устройство дистанционного управления, исключающее ошибочные действия персонала (см. также требования разд. И настоящих Правил);
при наличии стеклянных вакуумных систем для ремонта их применять газовые горелки, снабженные приспособлением механического поддува, исключающие при напайке стеклянных вакуумных изделий подсос и поддув воздуха ртом.
Д-7-11. Размещение постов вакуумного отжига, напыления, пайки, спекания и т. п., их техническое состояние и условия эксплуатации должны соответствовать следующим требованиям;
размещать посты надлежит так, чтобы при одновременной работе на нескольких постах работающему обеспечивалась возможность наблюдения за процессами обработки и принятия необходимых мер по управлению оборудованием;
выхлоп от вакуумных насосов постов должен быть организован с учетом требований п. Д-7-4 настоящих Правил;
стеклянные и кварцевые баллоны, под которые помещают материал для вакуумной обработки, должны быть ограждены цветным прозрачным экраном для исключения ослепления при отжиге материалов и предупрежде-
ния травматизма при возможных случаях разрушения стекла;
в качестве энергетических источников нагрева должны использоваться электрический ток и электромагнитное поле;
при использовании высокочастотных генераторов надлежит руководствоваться требованиями разделов И и К настоящих Правил;
рабочие места должны снабжаться исправными приспособлениями, инструментом, защитными средствами, соответствующими выполняемой работе.
Д-7-12. При эксплуатации ионизационных и ионно-сорбционных насосов высоковакуумной откачки обеспечивать выполнение следующих требований:
источник электропитания насоса должен своим конструктивным исполнением исключать вероятность случайного поражения током работающего посредством защитной блокировки, безопасной конструкции токоведу-щего разъема, ограждения токоведущих частей и использования других аналогичных средств;
все электрические соединения насосов с источниками питания осуществлять до включения электропитания.
Д-7-13. Для периодической очистки внутренних частей ионно-сорбционных насосов должны быть оборудованы рабочие места, снабженные местными эффективными пылеотсасывающими устройствами и механизированными скребками (щетками) из материалов, не образующих искр.
Д-7-14. Вакуумные изделия со стеклянной оболочкой, объемом более двух литров, при ручных технологических перемещениях должны помещаться в мешки (чехлы) из плотной ткани или иного материала, исключающих разлет осколков стекла при случайном их разрушении.
Д-7-15. Вакуумные изделия с большими стеклянными оболочками, (кинескопы, кенотроны, генераторные лампы, видиконы и т. д.) в момент ручной постановки (снятия) их на места обработки, испытания, эксплуатации надлежит накрывать мягкими чехлами из ткани для предупреждения травматизма при возможных случаях их разрушения.
Д-7-16. Операции напайки, спайки и заварки вакуумных изделий со стеклянными оболочками должны проводиться при выполнении следующих требований:
выполняться преимущественно механизированным способом;
при ручном их выполнении не должна допускаться поддувка ртом, для чего следует использовать приспособления или горелки с встроенным клапаном механического поддува;
- при необходимости напайки к вакуумным системам или изделиям стеклянных баллонов с чистыми газами баллоны следует помещать в чехлы из ткани, обладающей повышенной огнестойкостью.
Д-7-17. Спайка откачанных вакуумных изделий с металлическими штенгелями (трубка, соединяющая изделие с откачным устройством) должна осуществляться механизмом холодного спая с ручным или электрифицированным приводом; при этом в части обеспечения безопасности следует руководствоваться местной инструкцией. Устройство с электроприводом должно соответствовать требованиям ПТЭ и ПТБ.
Д-7-18. Для обрезки стеклянных штенгелей и удаления избытков стекла с «гребенок» откачных систем работающие должны быть обеспечены электронагревательными резаками, которые исключают необходимость механического надреза и ломки стекла. Резаки должны иметь ручку из изолирующего материала и питаться от понижающих трансформаторов с раздельной обмоткой на напряжение не более 12 В.
Д-7-19. Для выполнения операций по соединению стеклянных трубок с резиновыми шлангами работающие должны быть обеспечены перчатками (рукавицами) из плотной ткани для исключения пореза рук при возможных случаях разрушения стекла.
Д-7-20. Ремонт стеклянных вакуумных систем и замена их отдельных элементов на действующем оборудовании должны проводиться с соблюдением следующих требований:
оборудование, на котором проводится ремонт, должно быть отключено от источников электропитания и в месте выполнения работы не должно быть токоведущих частей, доступных случайному прикосновению;
стеклянные откачные системы, в которых находились или могли попасть ртуть, бериллий, торий и другие токсичные вещества, надлежит до начала ремонта нейтрализовать соответствующим способом, рекомендованным санитарными правилами;
отключение оборудования, ограждение токоведущих частей, очистка от токсичных веществ вакуумных систем и ремонт их проводится работниками соответствующих профессий при безотлучном надзоре руководителя работ;
отыскание течей в откачных системах на глубоком вакууме должно проводиться гелиевым течеискателем; проверка форвакуума может осуществляться по свечению с помощью искрового течеискателя;
как исключение может быть применен спирт или бензин для проверки течей, который наносится каплями из пипетки и забирается из металлических сосудов с широким дном и узким горлом емкостью не более 10 см3.
ГЛАВА Д-8. ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ МЕХАНИЧЕСКИХ, КЛИМАТИЧЕСКИХ
И РАДИАЦИОННЫХ ИСПЫТАНИЯХ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
Д-8-1. При организации механических и климатических испытаний в соответствии с ГОСТ 16962-71, а также радиационных испытаний работающим должны быть обеспечены условия труда, соответствующие санитарным нормам и правилам, гигиеническим и физиологическим особенностям организма работающих.
Д-8-2. Помещения, оборудование и устройства для механических и климатических воздействий на испытуемые изделия, кроме соответствия технологическим требованиям, своим техническим состоянием должны обеспечивать безопасность и эксплуатироваться в соответствии с требованиями действующих «Правил технической эксплуатации электроустановок потребителей», «Правил техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» и требованиями настоящих Правил.
Д-8-3. Радиационные испытания проводятся в соответствии с требованиями действующих специальных санитарных норм и правил, а также требованиями настоящих Правил.
Д-8-4. Испытания изделий механическим воздействием предусматривают:
вибрационные нагрузки;
ударные нагрузки (одиночные и многократные);
линейные (центробежные) нагрузки;
акустические нагрузки.
Требования и меры безопасности при названных видах воздействия определены пп. Д-8-6, Д-8-12.
Д-8-5. Испытания изделий климатическим воздействием предусматривают:
тепловое воздействие;
воздействие холодом,
термоудар;
влагостойкость;
пыленепроницаемость;
повышенное или пониженное давление атмосферного воздуха или другого газа;
солнечная радиация;
испытание на грибоустойчивость.
Требования и меры безопасности при названных видах воздействия определены пп. Д-8-13—Д-8-23
МЕХАНИЧЕСКОЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ
Д-8-6. Все виды оборудования, предназначенные для испытаний механическим воздействием, должны преимущественно размещаться на первых этажах зданий, где нет подвальных помещений.
Устанавливать оборудование надлежит на фундаменты или амортизационные подушки, исключающие передачу вибрации и шума на элементы здания.
Как исключение допускается устанавливать вибраци-онное оборудование с грузоподъемностью не более 0,5 кгс ла верхних этажах, но с принятием мер по исключению передачи вибрации.
Д-8-7. Оборудование, предназначенное для созданий центробежных нагрузок (центрифуги), должно устанавливаться за бронеограждения или устанавливаться в ямах, обеспечивающих надежную защиту от частей разрушившегося изделия.
При этом пульты управления должны располагаться в безопасной зоне.
Д-8-8. Помещения для размещения оборудования механическою воздействия и само оборудование должны быть обеспечены эффективными средствами шумоглу-шения.
Помещения должны быть облицованы шумопоглоща-ющим материалом.
Оборудование или его отдельные части должны быть покрыты шумоглушащими мастиками или помещены в
индивидуальные шумоглушащие камеры, которые обеспечивали бы снижение шума до уровней, допустимых санитарными нормами.
Д-8-9. Работа вибрационного, ударного и акустического оборудования допускается только при наличии эффективных средств шумоглушения, обеспечивающих выполнение требований санитарных норм.
Как исключение допускается работа оборудования без средств шумоглушения только на период обследования и выявления состояния испытуемого изделия — не более 5 мин.
При этом работающие должны обеспечиваться индивидуальными средствами шумоглушения, снижающими шум до допустимых санитарных норм.
При низкочастотных (ниже 20 Гц) акустических воздействиях вести непосредственное наблюдение запрещается. В этих случаях должны применяться оптические или телевизионные средства наблюдения.
Д-8-10. При установке изделий на платформы, оборудованные для механического воздействия, должны обеспечиваться следующие требования:
изделия следует крепить только в специально изготовленные оправки, держатели, приспособления и тому подобные устройства, рассчитанные на действующие нагрузки и выполненные с учетом форм изделия;
болты и гайки применять только с исправной резьбой я гранями;
инструмент (ключи, отвертки и т. п.) должен быть исправным, соответствовать назначению и размерам;
при постановке и снятии стеклянных изделий работа-тощие должны обеспечиваться защитными козырьками из прозрачного оргстекла;
постановка и снятие изделий всех типов должны производиться только при полностью снятых напряжениях как с изделия, так и с оборудования.
Д-8-11. Оборудование механического воздействия, предназначенное для испытания тяжелых изделий (вес которых превышает допустимый санитарными нормами в зависимости от возраста и пола работающих) и имеющее большие размеры, должно обеспечиваться подъемными средствами, исключающими ручной труд.
Д-8-12. Испытание изделий механическим воздействием должно осуществляться обученным и проинструктированным персоналом.
Испытание изделий механическим воздействием при включенных на них напряжениях электропитания (в динамическом режиме) осуществляется двумя работающими, имеющими квалификационные группы по электробезопасности один — IV, второй — не ниже III
Д-8-13. При испытании изделий механическим воздействием в электродинамическом режиме должны быть обеспечены следующие требования-
обеспечены условия, исключающие проникновение посторонних лиц к месту размещения комплекса испытательного оборудования посредством ограждений, плакатов, предупредительных надписей;
все соединения электрических цепей не должны разрываться под воздействием сил ускорения при включенных на них напряжениях;
при измерении высокочастотных энергий применять коаксиальные кабели, гибкие волноводы и как исключение открытые антенны При этом уровень излучений на рабочих местах не должен превышать значений, допустимых санитарными нормами, что обеспечивается выполнением требований раздела и настоящих правил;
на съемной части ограждений центрифуг должны быть защитные блокировки, исключающие доступ к испытуемому изделию до момента полной остановки вращения и отключения электропитания как с центрифуги, так и с испытуемого изделия;
на шумоглушащих ограждениях камер акустического воздействия должны быть установлены блокировки, исключающие проникновение внутрь камер при включенных источниках акустического шума
все токоведущие части должны быть ограждены или заизолированы так, чтобы исключалось случайное прикосновение к ним;
вентиляторы, электростабилизаторы и другие виды вспомогательного оборудования должны устанавливаться преимущественно вне рабочего помещения и как исключение могут быть установлены непосредственно в помещении, но так, чтобы не загромождались проходы и не создавался шум выше допустимого уровня
КЛИМАТИЧЕСКОЕ ВОЗДЕПСТВИЕ
Д-8-14. Испытание изделий климатическим воздействием может осуществляться в естественной среде различ
пых климатичсских зон или в искусственной среде, создаваемой в ограниченных объемах
Д-8-15. Испытания на климатические воздействия ее тественной среды различных зон должны быть организо ваны так, чтобы работающим обеспечивались нормаль ные условия труда в соответствии с требованиями санитарных норм и правил
Д-8-16. Доставка изделий к местам испытаний должна осуществляться централизованными средствами связи, транспорта и как исключение силами работников осуществляющих испытание, если вес упакованного изделия не превышает 10 кг
Д-8-17. Испытание воздействием па изделия искусственно созданной климатической среды должно проводиться юлько в специально оборудованных камерах или помещениях доступ в которые при установленном кли мятическом режиме должен быть исключен за счет устройства блокировок
Камеры и помещения с климатической средой должны быть герметичны и устроены так, чтобы элементы климатической среды (влага, пыль, газы, грибковые споры и т п) не попадали в воздушную среду помещений постоянного пребывания работающих, где размещены пульты управления
Д-8-18 Помещения где размещено оборудование в потопом создается климатическая среда должны быть обеспечены общеобменной вентиляцией и противобакте рицидными лампами для периодической дезинфекции воздушной среды
Д-8-19. Термобапокамеры должны размещаться в от дельных помещениях с таким расчетом чтобы у каждой камеры имелась свободная площадь для размещения из мерительных ппибопов на период испытания изделий
Д-8-20. Работающие па термобарокамерах должны быть обеспечены необходимыми защитными средствами от действия высоких и низких температур, а также необходимыми средствами защиты ппи испытаниях па тср-моудар
Д-8-21 Помещения, предназначенные для проведения испытаний воздействием солнечной радиации, должны удовлетворять следующим требованиям быть герметизированы-оборудованы вытяжной вентиляцией, включение которой должно быть сблокировано с входными дверями;
входные двери должны быть снабжены блокировочны ми устройствами, отключающими источники светового потока, создающие «солнечную радиацию»,
источники светового потока, содержащие ртуть, при установке в помещении должны снабжаться устройства ми (прозрачными герметичными оболочками), обеспечивающими улавливание паров ртути при возможных слу чаях разрушения их оболочки,
содержание в помещении паров ртути должно проверяться не реже 1 раза в 3 мес
Д-8-22. Помещения, предназначенные для проведения испытаний на грибоустойчивость, разведения, хранения и приготовления водной споровой суспензии, должны оборудоваться и содержаться в соответствии с действующими санитарными нормами и правилами для данного вида работ
Д-8-23 К проведению испытаний на грибоустойчивость допускается только обученные и проинструктированные лица
Д-8-24. При всех видах испытаний изделий электронной промышленности воздействием климатических факторов работа должна быть opганизована так, чтобы ра-ботающие не подвергались воздействию последних с уровнями, превышающими допустимые санитарными нормами
Д-8-25. Испытания изделий воздействием радиации проводятся в установленном порядке при соблюдении требований специальных санитарных норм и правил, а также следующих требований
при заключении договора на проведение испытаний вопросы охраны труда должны оговариваться отдельным пунктом «Особые условия», где кроме технических требований должны быть четко определены области ответственности администрации обоих предприятий,
работы с оборудованием и изделиями, являющимися собственностью электронной промышленности, в период нахождения па предприятиях других отраслей осуществляются до воздействия радиации — по настоящим Правилам, после воздействия — с учетом требований и правил, действующих на предприятиях, где проводится радиационное облучение,
обследование изделий после воздействия радиации проводится в том случае, если разрешает дозиметрическая служба, но при условии, что уровень остаточной ра-
диации изделия не превышает допустимых санитарных норм;
изделия, возвращаемые владельцу на обследование после облучения, должны снабжаться сопроводительным протоколом об уровне остаточной радиации, составленном лизиметрической службой предприятия, где проводилось облучение;
ответственность за радиационную безопасность несет администрация обоих предприятий;
администрация предприятий, командирующая персонал для проведения испытаний, обязана предусматривать такое количество работающих, чтобы объем работ при сокращенном режиме рабочего дня, установленный на этих предприятиях, не вызывал сверхурочных работ и нарушений требований дозиметрической службы, а также обеспечивался нормальный физиологический отдых между рабочими сменами.
РАЗДЕЛ Е
ПРОИЗВОДСТВО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
МАТЕРИАЛОВ, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
ПРИБОРОВ И МИКРОМОДУЛЕЙ
ГЛАВА Е-1. МЕРЫ БЕЗОПАСНОСТИ ПРИ РАБОТЕ НА ДРОБИЛЬНО-РАЗМОЛЬНОМ ОБОРУДОВАНИИ
Е-1-1. Для получения мелкодисперсных порошков германия, кремния, сплавов на хромокремниевой основе (керметов), смеси кремния и двуокиси кремния и германия с двуокисью германия и др. с размером зерна от 0,2 до 0,045 мм применяют следующее дробильно-размоль-ное оборудование:
мельницы валковые, шаровые, планетарные и струйные, вибромельницы и механические истиратели;
щековую дробилку (для получения зерна размером до 1,5 мм) для тонкого номола (размер зерна от 0,2 до 0,045 мм);
вибрационные сита для просева порошков;
прессы для брикетирования порошков.
При работе на дробильно-размольном оборудовании необходимо выполнять требования, изложенные в главах В-1, В-2 настоящих Правил, а соблюдать следующие меры безопасности.
Е-1-2. Все вращающиеся части оборудования, в том числе и валки валковых мельниц, должны быть ограждены, а ограждения иметь блокирующие устройства с тормозом для аварийной остановки валков.
Е-1-3. Не допускается потертостей крепящих тросиков па планетарной мельнице.
Е-1-4. Каждый из трех барабанов планетарной мельницы должен быть загружен одинаковыми по весу партиями шаров и порошка.
Е-1-5. Запрещается:
ставить барабаны на вращающиеся валки включенной мельницы;
ставить барабаны на валки дном ко дну.
Е-1-6. Во избежание раскрытия барабанов во время вращения на валках и их раскалывания перед установкой они должны быть проверены осмотром на целост-носгь, прочность и отсуствие трещин, сколов и т. д., крышки надежно закреплены, стяжные хомуты исправны.